Occasion TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9121685 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 est un équipement de photorésistance conçu pour graver, exposer, aligner et développer des photomasques, ou des photomasques utilisés dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il s'agit d'un système de photolithographie avancé avec une unité pas à pas sophistiquée contrôlée par microprocesseur. La caractéristique la plus avancée de TEL ACT 8 est sa capacité à aligner précisément le photomasque par rapport à la plaquette. La machine permet un alignement précis et reproductible avec une précision de +/- 2 microns. Ceci garantit que tout motif exposé sur la plaquette sera enregistré avec précision sur le masque. L'outil dispose également d'un actif d'exposition multi-étapes de pointe qui permet des expositions rapides et précises. Le modèle comprend un spinner de résistance et un spinner de 10.000 tr/min commandé par un microprocesseur de précision. Ceci permet un dépôt précis, répétable et uniforme de matériau résistant. TOKYO ELECTRON ACT 8 dispose également d'un mandrin à vide très précis et reproductible. Ceci permet de maintenir fermement la plaquette sans glisser, d'éviter toute contamination de la surface de la plaquette. L'équipement comprend une source lumineuse, soit DUV (profond ultraviolet) ou IR (infrarouge) qui permet d'utiliser des longueurs d'onde spécifiques pour l'exposition. Est également inclus un système de traitement des gaz de procédé qui peut être utilisé pour le cendrage chimique pendant l'étape de développement, ainsi que le contrôle de l'atmosphère et de la température pendant le processus de gravure et de développement. L'unité d'exposition et de développement dispose d'une caméra haute résolution qui permet d'observer le processus de développement en temps réel, ainsi que de fournir une vue à travers-focale, ce qui signifie que même aux petites tailles de fonctionnalités, le processus d'exposition et de développement peut être optimisé pour le résultat souhaité. TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 est également capable de surveiller les conditions environnementales dans la chambre de traitement, y compris la température, l'humidité, le débit de gaz et la détection de pression. Cela garantit des résultats cohérents et constitue une caractéristique importante pour de nombreux processus nécessitant des conditions environnementales précises. ACT 8 est une unité de photolithographie fiable, avec un alignement précis et reproductible, une exposition automatisée sophistiquée et une machine de développement. Son fonctionnement entièrement automatisé en fait un choix idéal pour tout environnement de production.