Occasion TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9145487 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 est un équipement photorésistant (chimiquement actif) conçu pour aider à la réalisation de circuits intégrés. Ce système utilise des produits chimiques photosensibles, ou photorésist, pour créer des images précises à la surface d'un substrat semi-conducteur. Photoresist est un type de matériau photosensible qui contient des produits chimiques qui réagissent à la lumière. TEL ACT 8 comprend un module de revêtement photorésistant, un module d'alignement et une source lumineuse d'exposition aux UV. Le module de revêtement photorésist est utilisé pour étaler uniformément la résine photosensible sur la surface de la plaquette afin de créer une couche adaptée au processus d'imagerie exposé ultérieur. Le module d'alignement est monté sur l'étage de microscope et contient plusieurs mécanismes d'alignement de plaquettes. Le mécanisme d'alignement guide la plaquette dans certaines positions pour une bonne imagerie. La source lumineuse d'exposition aux UV est également montée au microscope. Il utilise la lumière UV pour exposer la photorésist, activer la chimie et créer le motif qui sera transféré sur le substrat ci-dessous. Cette source lumineuse a la capacité de créer des images haute résolution avec des tailles de fonctionnalités aussi petites que 5nm. Une fois la résine photosensible exposée, un module de traitement est utilisé pour développer l'image. Ce module attaque la résine photosensible non exposée, révélant le motif en dessous. Une fois le processus d'imagerie terminé, d'autres étapes de traitement sont effectuées pour compléter le circuit. Cela peut inclure la cuisson, la gravure et le dépôt. TOKYO ELECTRON ACT 8 machine est très fiable, avec un taux de traitement jusqu'à 180 wafers par heure. En outre, il est capable de produire des motifs jusqu'à 5 nm de la taille de la caractéristique. Cet outil est largement utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs pour réaliser des circuits à haut rendement performants.