Occasion TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9159075 à vendre en France
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ID: 9159075
Taille de la plaquette: 8"
(2) Coater / (2) Developer system, 8"
(7) LHP
(3) CHP
(1) HHP
(5) CPL
(1) CWL
(2) TRS
(1) ADH.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 est un équipement de photolithographie de pointe développé pour la fabrication de microélectronique haute résolution et haute précision. Le système dispose de puissantes capacités d'optique, de numérisation et de traitement d'images, permettant aux utilisateurs de produire des appareils avec des caractéristiques microscopiques et des structures incroyablement petites. L'unité est composée d'un certain nombre de composants. Un laser excimère de longueur d'onde maximale de 248nm est utilisé pour visualiser directement un film photorésistant. Le film de résine photosensible est préparé dans une chambre de revêtement spéciale où il est uniformément dispersé par l'utilisation d'un gaz inerte. Cela permet au laser de former avec précision les structures nécessaires à la création de petits appareils. L'optique de la machine est composée d'une série de lentilles qui focalisent et recentrent le faisceau laser. Pour fournir des détails précis, les systèmes de lentilles sont conçus avec des tolérances extrêmement petites. Ils se composent de deux groupes distincts ; un groupe pour l'imagerie initiale et un deuxième pour l'avancement de la taille des fonctionnalités. Ces groupes sont également équipés de plusieurs dispositifs supplémentaires qui affinent la qualité de l'imagerie. Pour diriger avec précision le faisceau laser, on dispose d'un miroir à balayage galvanométrique à commande électronique. Avec cet outil, tout angle peut être balayé rapidement et précisément pour former une microélectronique extrêmement petite et complexe. Les capacités de traitement d'image de TEL ACT 8 font partie intégrante de la création de dispositifs très précis. Un processeur d'image numérique est utilisé pour reconnaître les irrégularités et compenser pour assurer la conformité exacte. Les caractéristiques peuvent même être détectées jusqu'au niveau du nanomètre pour la précision et l'assurance qualité. TOKYO ELECTRON ACT 8 dispose également de solutions de post-imagerie robustes. Après le processus d'imagerie, une série de traitements avancés sont préformés pour améliorer encore les performances de l'appareil. Les traitements au gaz peuvent être utilisés pour une adhérence supérieure et les traitements alcalins pour une conductivité accrue. ACT 8, avec ses puissantes capacités d'optique, de numérisation et de traitement d'images, est un atout inestimable pour la création de dispositifs microélectroniques. Ses fonctionnalités avancées et ses solutions de post-imagerie permettent aux utilisateurs de créer des appareils avec des performances améliorées et de petites fonctionnalités complexes.
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