Occasion TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9181934 à vendre en France
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Vendu
ID: 9181934
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2000
(2) Coaters / (2) Developers system, 8"
Software version: 1.18.003
Hardware configuration (Fab):
Main system:
(1) Main body CS block
(1) Main body process block
(1) Main body interface block
(1) T&H controller
(1) Chemical cabinet
SMIF System:
(4) SMIF Indexers
Hardware configuration (Subfab / Auxilliary Units):
(1) AC Power box
Equipment configuration:
Software: JapDOS
Controller: Silicon disk
Floppy disk drive: 3.5"
Hardware:
(4) Indexers
(3) Robot arms
(5) Cool plates
(6) Low temp hot plates
(2) Hot plates
(1) AD Unit
(1) WEE
(1) Cup wash
2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 est un équipement de photorésistance développé par TEL (TOKYO ELECTRON). Ce système peut être utilisé pour diverses applications telles que la photolithographie, le masque et les procédés de gravure. Cette unité photorésist présente un certain nombre de caractéristiques qui en font un excellent choix pour une utilisation dans une variété de procédés photolithographiques. Tout d'abord, cette machine de photorésistance utilise un type particulier de tête d'exposition qui peut être ajustée pour fournir différents niveaux d'exposition. Cela permet à l'utilisateur d'ajuster l'exposition en fonction du processus photolithographique avec lequel il travaille. En outre, cet outil de photorésistance utilise également une génération de résist très sensible qui est utilisé pour fournir une excellente uniformité de résiste et des motifs fiables. Cette résistance peut également être utilisée avec une gamme d'épaisseurs de film. De plus, TEL ACT 8 dispose également d'un atout capteur d'exposition automatique qui est capable de déterminer l'exposition optimale pour chaque processus de photolithographie. Ce modèle fournira aux utilisateurs un processus automatisé de mise en place et de contrôle des paramètres d'exposition afin d'assurer des résultats cohérents. L'équipement comprend également une variété d'autres caractéristiques, telles qu'un système automatisé de contrôle des défauts, un moniteur de bord, une unité d'alarme et une unité de vide pour retirer le film du substrat. Il comprend également un obturateur de fermeture automatique. En outre, la machine peut également être intégrée à un robot externe de manipulation de plaquettes pour la manipulation automatisée de plaquettes. TOKYO ELECTRON ACT 8 est conçu pour être une solution simple et économique pour les processus de photolithographie. Il est facile à utiliser et offre des performances fiables avec d'excellents résultats. Les petites et les grandes installations de fabrication pourront tirer de grands avantages de l'intégration de cet outil dans leurs processus de production.
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