Occasion TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9220020 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 est un équipement de photorésistance utilisé dans la fabrication de microélectroniques. C'est un système entièrement automatisé conçu pour fournir le plus haut niveau de précision et de répétabilité pour la photolithographie de précision grâce à sa technologie Optically Automated Lithography™ (OAL™) brevetée. L'unité TEL ACT 8 est conçue pour répondre aux exigences modernes de production à haut volume avec son étalonnage automatisé et précis du foyer, l'alignement des plaquettes, l'alignement des motifs, le recouvrement et la rotation en moins de 90 minutes pour jusqu'à 8 plaquettes simultanément. Il est capable de traiter des plaquettes jusqu'à 8 pouces et avec une résolution de 0,1 micron. La machine est équipée d'une suite de fonctions de fabrication hautement intégrées et sophistiquées. Un module d'exposition ultra-haute vitesse à double balayage laser (LDSE) réalise une exposition photo avec une grande précision et stabilité. Un outil d'alignement à cinq axes avec rotation à deux axes et une technologie de reconnaissance d'image fournit un alignement précis des caractéristiques critiques des plaquettes. L'actif est également équipé d'un modèle breveté de protection de la lentille qui empêche le contact entre la surface de la lentille et la plaquette, pour assurer une plus longue durée de vie de la lentille. Un module de transport de plaquettes avec un mécanisme de balayage permet également un transport facile de plaquettes exposées. En outre, un équipement compact et efficace de conteneur sans poussière est utilisé pour assurer un environnement de travail propre. Le système TOKYO ELECTRON ACT 8 est également capable de supporter différents types de photorésists, y compris la photorésist ArF pour les applications à ultra haute résolution et à haut rendement, les photorésists I-line et KrF pour les applications à basse résolution et autres. Il permet également une large gamme de chimies de gravure pour une variété de besoins de fabrication de microélectronique. ACT 8 photorésist unit est une machine avancée et fiable pour la production de composants microélectroniques à haute résolution et rendement. Il dispose de plusieurs fonctionnalités avancées, telles que l'étalonnage automatisé des paramètres du procédé et ses fonctions de fabrication hautement intégrées. Sa précision et sa répétabilité éprouvées le distinguent des autres systèmes de photolithographie et en font une solution idéale pour la production avec des volumes élevés de composants critiques.