Occasion TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9241917 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 (TEL/TE TEL ACT 8) est un équipement de photorésistance de pointe utilisé dans la fabrication de circuits intégrés très exigeants, en particulier dans les industries des semi-conducteurs et des nanotechnologies. La technologie photorésist du système permet aux fabricants de circuits intégrés de créer des motifs et des fonctionnalités avec des largeurs de ligne très faibles et une tolérance CD. La caractéristique principale de TOKYO ELECTRON ACT 8 est sa capacité de haute résolution, qui dépend de ses aligneurs avancés de photorésist et de masque. Son unité de photorésistance fonctionne en revêtant à plusieurs reprises une plaquette de photorésist et en brûlant des régions dissymétriquement définies. Cela permet la création précise de tranchées, de petits vias, de poches et de petits angles. L'autre composant central de l'ACT 8 est son alignement de masque. Cet équipement permet d'aligner rapidement et précisément la photorésist et la plaquette, ce qui permet le transfert précis des motifs photomasques sur la photorésist. Il permet également des changements rapides dans les motifs de masques et les revêtements photorésistants. La machine d'ACT 8 intègre également des capacités d'imagerie et de métrologie avancées, fournissant un moyen d'examiner les caractéristiques des photorésistances. Cela comprend la mesure optique, l'auto-échantillonnage et l'inspection aux rayons X, qui permettent d'observer avec précision les plus petites caractéristiques de la plaquette. De plus, l'outil utilise un dépassement de longueur nulle pour réduire la distorsion des ondes stationnaires. Cette capacité augmente la résolution de l'actif en réduisant le bruit des ondes stationnaires, ce qui conduit à un contraste plus important entre les structures fines. TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 offre plusieurs autres fonctionnalités, telles qu'un modèle de revêtement à interface liquide à haut rendement, une gravure ionique réactive profonde (DRIE) et une gravure par oxyde. En outre, son équipement de surveillance des processus de précision (PPM) fournit des données en temps réel sur les états des processus, permettant un contrôle et une répétabilité précis des processus. Enfin, TOKYO ELECTRON/TE TOKYO ELECTRON ACT 8 est conçu pour fournir un environnement optimal pour le traitement de plaquettes à proximité de la surface de la bobine. Cela garantit des résultats de processus de haute qualité et la répétabilité. Dans l'ensemble, TEL/TOKYO ELECTRON/TE TEL ACT 8 est un système de photorésistance à haute résolution conçu pour la fabrication de circuits intégrés extrêmement exigeants. Ses capacités d'imagerie et de métrologie avancées, son unité de revêtement à interface liquide à haut rendement et sa machine PPM permettent des résultats précis et reproductibles.
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