Occasion TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9252167 à vendre en France
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Vendu
ID: 9252167
Taille de la plaquette: 8"
(2) Coater / (2) Developer system, 8"
I-Line
Single block system
Wafer flow: Left to right
Process block: Single block system
Block 1(C/S Blk):
CS Add on board missing
Main controller: ACT #2
Y,Z,Th Motor, X,Y,Z,Th Drive
Touch screen
Pincette
Block 2(P/S Blk)
(2) Spinner I/O boards missing
(2) Coater units (2-1, 2-2)
Direct drain type
(2) PR Nozzle assemblies
(4) Back rinses
(2) EBR Nozzles
(2) Out cup assemblies
(2) Nozzle changer motors
(2) Spin motors & drivers
(2) Developer units: (2-3, 2-4)
(4) Back rinses
(2) H Nozzle assemblies
(2) Out cup assemblies
(2) Spin motors & drivers
Oven unit:
(7) LHP/ Low temperature hot plates
(4) CPL/ Chill plates
TCP
(2) TRS / Transfer stations
(2) ADH/ Adhesion process stations
PRA / Process block robotics arm:
Missing part: Pincette
TH Drive
PRA Motor
Missing parts:
(4) ADH Inject valves
(10) Air valve (AMDZ1-X61)
(2) Spinner I/O boards missing (Coater units (2-1, 2-2) Developer units: (2-3, 2-4))
(2) DEV Drine bottles
Power cable
THC: T&H-NRE-2-A-00
Power box: PB2-U200-03-DV2
TCU.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 est un équipement de photorésistance qui produit des photomasques utilisés dans la production de dispositifs semi-conducteurs. Ce système a la capacité de créer des modèles très précis avec haute résolution et répétabilité. Les motifs de photomasques qu'il produit sont créés grâce à la méthode propriétaire de double exposition (DPE). Cette méthode consiste à exposer un seul film de résine photosensible à des expositions successives provenant de deux sources optiques différentes avec projection de miroir à balayage. Cette unité utilise également une configuration de masque définie par l'utilisateur avec des niveaux variables de complexité d'image et de géométrie de photomasque, permettant à l'utilisateur de personnaliser les motifs de photomasque. Le photomasque produit par TEL ACT 8 est réalisé par divers procédés. Tout d'abord, un substrat de verre est revêtu d'une résine de silicium amorphe, qui sert de motif photomasque. Ensuite, le film est exposé à la lumière, ce qui pose la couche de règle photorésist. La lumière fait polymériser la résine exposée et devient insoluble à une certaine solution chimique. Il en résulte la création d'un motif de ligne de gravure. Enfin, ce motif est transféré sur le substrat en verre. La résolution de cette machine photomasque est tout à fait impressionnante, avec une ligne/espace minimum de 0,08 microns et un pas constant jusqu'à 0,2 microns sur un réseau de 8 millions de pixels, rendant TOKYO ELECTRON ACT 8 idéal pour les applications les plus strictes de fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Sa répétabilité inférieure à 0,001 micron garantit une excellente qualité de produit et des rendements excellents. De plus, la conception de TOKYO ELECTRON ACT 8 permet un temps d'exposition rapide, généralement de plusieurs heures à une journée. L'outil TEL ACT 8 dispose également d'un ensemble d'outils sophistiqués de contrôle des erreurs et de correction automatique. Ces outils permettent de corriger manuellement les conditions de non-tolérance avant de revoir le film gravé, en assurant la réalisation précise de motifs complexes. Ainsi, TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 est un actif photorésist fiable qui peut produire des motifs photomasques très avancés avec une répétabilité et une précision exceptionnelles.
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