Occasion TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9262481 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 est un équipement photorésist entièrement automatisé qui offre une précision et une répétabilité supérieures. Ce système utilise des optiques d'imagerie haute résolution, un contrôle précis du mouvement et des algorithmes logiciels avancés pour assurer une cohérence de traitement résistante amplifiée chimiquement. L'optique de TEL ACT 8 lui donne la précision et la résolution nécessaires à la photolithographie. L'unité optique comprend une lampe à arc au mercure de grande puissance, un condenseur optique, une machine d'éclairage, un outil de projection masqué optiquement pour l'imagerie sur la plaquette, et une unité de traitement avec mécanisme de focalisation piloté par regiogène qui peut détecter, mesurer et contrôler le foyer. L'optique est configurée pour prendre des images 3D pour une précision maximale. Le châssis de TOKYO ELECTRON ACT 8 comporte un atout de commande moteur hors-bord qui entraíne le mouvement du bras robotique de haute précision pour le positionnement précis de la machine et l'exposition de la plaquette. Ce modèle comprend également un dispositif de tension qui assure la bonne tension du masque lors des étapes d'imagerie et de traitement. Le logiciel TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 est conçu pour fournir des paramètres uniformes de dépôt et d'exposition sur une partie donnée de la plaquette en cours de traitement. Le logiciel comprend également plusieurs fonctions de suivi des paramètres de processus et des mécanismes de diagnostic et de rétroaction qui permettent d'ajuster les paramètres pour maintenir des performances cohérentes. L'équipement de photorésistance ACT 8 est le système le plus précis et le plus fiable disponible sur le marché. Il est bien adapté à la fabrication de semi-conducteurs et de microsystèmes, ainsi qu'à d'autres procédés liés aux photorésistances. La précision et la répétabilité offertes par cette unité permettent un transfert d'image extrêmement précis et la fabrication de l'appareil de la plus haute qualité.
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