Occasion TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9279593 à vendre en France
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ID: 9279593
(2) Coater / (3) Developer system, 8"
R Type
In-line
Block: 2
Hard Disk Drive (HDD)
Loader
Main controller type: Type #3
Coater:
(3) Nozzles
RRC Pump
(2) Buffer tanks: 3 L
Side rinse (EBR)
(2) Back side rinses
Developer:
H Nozzle type
(2) Buffer tanks: 3 L
(2) Rinse nozzles
(2) Back side rinses
(2) Adhesion process stations (ADH )
(12) Low temperature Hot Plate stations (LHP)
(2) High Temperature Hot Plate Process Station (HHP)
(8) Chiller Plate Place (CPL)
(4) Transition Stage (TRS)
(4) Chilling Hot Plate (CHP)
(2) Cup Washer Holder (CWH)
(2) Shuttle Module (SHU)
IFM
EIS Type: ASML
WEE
AC Power box
Chemical box
Temperature controller
T and H
MFC.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 est un équipement de photorésistance conçu pour des procédés avancés au niveau des plaquettes. Le système offre un haut niveau de flexibilité, de précision et d'efficacité grâce à sa combinaison de capacités automatisées avancées et de contrôle manuel de l'utilisateur. TEL ACT 8 comprend plusieurs composants intégrés, dont un pulvérisateur de diffusion, un revêtement photorésistant, un module et plusieurs systèmes de tourelles. Le pulvérisateur, qui est utilisé pour affiner la résine photosensible, fonctionne selon un processus étape par étape ; prémélanger d'abord la résine photosensible, puis la pulvériser uniformément sur la plaquette en utilisant la pression d'éclatement et la vitesse de pulvérisation contrôlables. De là, le revêtement utilise la largeur de pulvérisation et le nombre de tours pour maintenir des épaisseurs de film uniformes - une étape clé dans le traitement à haute résolution. Le module TOKYO ELECTRON ACT 8 est utilisé pour chauffer, aligner et focaliser le faisceau de l'outil avant le début du cycle d'exposition programmé. La chaleur et la résistance chimique peuvent être ajustées à l'aide des cuves optiques à haute puissance du module, qui aident également à maintenir une température de traitement stable et uniforme. Pour plus de précision et d'efficacité, les systèmes de tourelle sont conçus pour une intégration transparente entre la caméra et le projecteur. Les bras de tourelle escamotables facilitent le passage rapide et économique des modules, tandis que l'unité d'autofocus haute vitesse facilite l'alignement de précision des caméras et des projecteurs sur une gamme de matériaux photorésistants. Dans l'ensemble, ACT 8 fournit aux utilisateurs une solution photorésist innovante, conçue pour des niveaux avancés de précision et d'efficacité. La machine combine des capacités d'automatisation avancées avec des commandes spécifiées par l'utilisateur, permettant une flexibilité et une fiabilité maximales. Avec ses résultats non biaisés et reproductibles, l'outil TOKYO ELECTRON ACT 8 simplifie également le processus de photorésistance, réduisant les frais généraux et augmentant le rendement potentiel des investissements.
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