Occasion TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9283788 à vendre en France
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ID: 9283788
Style Vintage: 2009
(2) Coater / (2) Developer system
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2009 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 est un équipement de photorésistance, conçu pour la photolithographie dans l'industrie des semi-conducteurs. C'est un système pas à pas de plaquettes qui utilise un processus de développement résistif pour transférer le motif d'un photomasque à une plaquette de silicium. L'unité fonctionne en exposant une plaquette revêtue de photorésist à la lumière à travers un photomasque, créant une image sur la plaquette. L'image est ensuite transférée de la plaquette vers une couche de développement résistif, qui sert à former des motifs dans la couche de résine photosensible. La machine est logée dans une enceinte thermiquement isolée et est équipée de deux systèmes de chauffage, d'un outil de refroidissement de plaquettes à température contrôlée et d'un atout de commande moteur sur mesure. Il utilise un modèle d'autofocus haute résolution de huit pouces Koehler pour modeler avec précision une plaquette de semi-conducteur. L'équipement est capable de manipuler des plaquettes de silicium jusqu'à 8 pouces de diamètre et jusqu'à 4 microns de résolution d'imagerie. TEL ACT 8 profite d'un large éventail de modes de fonctionnement, y compris les améliorations de résolution, les niveaux d'exposition automatique et les différentes sources d'images, permettant un réglage fin afin d'obtenir les meilleurs résultats possibles. Il est également compatible avec une grande variété de matériaux chimiques, de procédés de revêtement et de masques de protection. TOKYO ELECTRON ACT 8 est contrôlé par une solution logicielle intuitive et facile à utiliser. Le système offre également une gamme d'outils graphiques et de fonctionnalités interactives pour faciliter le fonctionnement de l'unité et améliorer les résultats. Il est conçu pour une mise en place et un fonctionnement rapides, et il est capable de fonctionner en mode manuel et automatique. ACT 8 offre également diverses options de suivi qui comprennent des cartes d'exposition, la cartographie couche par couche des plaquettes, et le placement automatique des couches. Il est conçu avec un tampon automatique qui assure un développement de photorésist haute vitesse avec une perte de vitesse minimale. Son chargeur automatique permet également le chargement et le déchargement rapides des plaquettes. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON ACT 8 est une machine de photolithographie puissante et polyvalente conçue pour le traitement rapide des plaquettes. Il est capable de produire des motifs très précis avec une perte de vitesse minimale, offrant la solution idéale pour des exigences de lithographie avancées dans l'industrie des semi-conducteurs.
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