Occasion TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9290881 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 est un équipement de photorésistance conçu pour la production de composants microélectroniques très précis. Le système est un outil de dépôt conçu pour faciliter la création de couches minces de photorésist sur des dispositifs semi-conducteurs, permettant le développement de circuits et d'autres composants avec une précision et un détail sans précédent. Pour ce faire, on utilise un procédé appelé « photolithographie », dans lequel un masque composé de lumière et d'ombre est projeté sur un substrat revêtu de photorésist. L'exposition au masque provoque le « développement » des zones exposées de la résine photosensible, ce qui conduit à la création des structures microélectroniques souhaitées. TEL ACT 8 utilise une machine de projection lithographique ArF KrF à optique évanescente, permettant l'imagerie de motifs à haute résolution avec une extrême précision. Il dispose d'une résolution de 60nm, indiquant la taille minimale des caractéristiques qui peuvent être produites avec précision. L'outil dispose également d'excellentes inclinaisons hors axe, permettant la fabrication d'une variété de formes géométriques. L'actif peut supporter des substrats jusqu'à 150mm de diamètre et 6mm d'épaisseur, offrant la flexibilité nécessaire pour gérer une large gamme de tailles et de types de substrat. Le modèle dispose également de capacités avancées de contrôle des processus, permettant une manipulation facile des profils de photorésist pour obtenir une qualité de film optimale. L'équipement permet une rétroaction en temps réel sur les caractéristiques du masque et du substrat, ainsi que d'ajuster rapidement l'intensité et la longueur d'onde du faisceau afin de réduire les variations de processus et d'optimiser le débit. De plus, le système est capable d'optimiser automatiquement les processus, ce qui étend ses zones d'application et permet d'améliorer le rendement des processus. Il fournit également des systèmes de refroidissement rapide en option et prend en charge les contrôles avancés des processus. Il est entièrement évolutif, permettant l'intégration de plusieurs modules de projection et la réalisation de dispositifs multiples en parallèle. Enfin, l'unité est également conçue pour être extrêmement robuste et durable, fournissant des performances fiables pendant une longue période, ce qui est essentiel pour de nombreux types de production industrielle. En conclusion, TOKYO ELECTRON ACT 8 est une machine photorésistante de pointe conçue pour la production précise et sophistiquée de composants microélectroniques. Il dispose d'un outil lithographique ArF KrF pour la résolution de pointe, le contrôle avancé des processus, la capacité de traiter une large gamme de substrats, et une conception très fiable pour une durabilité et des performances maximales. Avec ses capacités étendues, l'actif est idéal pour une variété d'applications industrielles.
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