Occasion TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9312218 à vendre en France
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ID: 9312218
Coater / Developer system, 8"
System controller
(2) Chemical cabinets:
Chemical cabinet 1: HMDS, Solvent and developer
Chemical cabinet 2: PR
(2) SMC Temperature Control Unit (TCU)
AC Power box
Carrier station:
Type: Uni-cassette
4-Cassette stages, 1 pick-up
Coater unit:
(4) Dispense nozzles with temperature control line
Mini RRC pump
Rinse nozzle: EBR, Back rinse, solvent bath
Rinse system: 3 Liters (2) buffer tank systems
PR Suck back valve type: Suck-back valve
Direct drain
TARC Coater unit:
(3) Dispense nozzles with temperature control line
Mini RRC pump
Rinse nozzle: EBR, Back rinse, solvent bath
Rinse system: 3 Liters (2) buffer tank systems
PR Suck back valve type: Suck-back valve
Direct drain
Developer unit:
H Nozzle
(2) Stream nozzles for D.I W rinse
2 Points for back side rinse
Developer system: 3 Liters (2) buffer tank systems
Developer temperature control system
Direct drain
(2) Adhesion units:
Closed chamber (Built-in hot plate)
HMDS Tank with float sensor
Interface
High temperature hot plate
(14) Low temp hot plates
(7) Chill plates (CPL)
(4) Chilling Hot Plate (CHP) process station
(3) TRS Modules
TCP Module
HCP Module
Wafer Edge Exposure (WEE) Module
Wafer type: Notch, DUV type
Missing parts:
CSB motor I/O Board 2-0 PRA θ Motor driver
CSB Add on board
3-4 Panasonic motor
3-1 Out cup cylinder
3-1 Arm 1
3-1 Arm 2
PRB2 Chemical IO board
Temperature and humidity controller ((2) Cups)
2-0 PRA X Motor driver
4-0 IRA Z Motor drive
4-0 IRA UPS
WEE Theta driver
4-0 IRA Motor IO board
4-0 IRA IFB Add on board
Hard Disk Drive (HDD)
2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 est un équipement photorésistant de premier plan développé par TEL, une entreprise japonaise spécialisée dans les équipements semi-conducteurs. Le système, développé avec une technologie de pointe, offre aux utilisateurs une unité automatisée de pointe pour le traitement des plaquettes. La machine est remarquable pour sa grande précision et ses résultats très précis. Il offre un procédé de gravure supérieur en exposant un substrat à la lumière tout en conservant un haut degré de précision. L'outil filtre la lumière pour stabiliser l'image, réduire les distorsions et améliorer la précision de la largeur de ligne. Avec son contrôle rapide des processus, TEL ACT 8 est capable de manipuler plus de 300 plaquettes par heure. Il utilise également un logiciel intégré qui permet aux utilisateurs de surveiller les conditions de processus, de déceler les anomalies et de répondre rapidement aux besoins changeants des processus. Le modèle est équipé de fonctionnalités intelligentes, telles que la capture de données en temps réel, qui permet aux utilisateurs de capturer des données de processus pour analyser les tendances des processus et mieux gérer la production. Il dispose d'un mécanisme de nettoyage Clean Track pour pénétrer les photorésistances avec des solutions de nettoyage sans endommager les plaquettes. L'équipement produit des résultats de haute qualité et peu coûteux en minimisant la variation de largeur de ligne et en minimisant le besoin de descente agressive. Il supporte également des applications sensibles telles que les dépôts en couches minces. En outre, le système dispose de capacités automatisées de test et d'analyse de données qui permettent aux utilisateurs de diagnostiquer les problèmes et de minimiser les temps d'arrêt, libérant du temps de production et augmentant l'efficacité. TOKYO ELECTRON ACT 8 fournit la meilleure unité photorésist de l'industrie à un prix abordable. Sa précision et son automatisation se conjuguent pour fournir des résultats fiables pour une variété d'applications. Sa polyvalence et sa flexibilité permettent aux utilisateurs d'adapter la machine à leurs besoins spécifiques afin de produire la meilleure qualité de résine photosensible qui réponde à leurs besoins spécifiques.
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