Occasion TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9314464 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 est un équipement de photorésistance avec un traitement chimique avancé pour la photolithographie. Il profite de la technologie chimique pour offrir une haute précision et précision dans les motifs de gravure sur film photorésist. Le système est principalement utilisé dans la production de semi-conducteurs et la fabrication de dispositifs, et est conçu pour être convivial et efficace. L'unité utilise un balayage à quatre faisceaux pour maximiser la précision et la précision des motifs, ainsi qu'un éjecteur à angle variable pour réduire la rugosité des bords. Il utilise également l'imagerie par faisceau électronique avancé (EBI) pour les capacités d'imagerie haute résolution. Avec EBI, les images peuvent être ramenées à une résolution de 2,5 microns. Une fonction anti-moire est incluse pour éviter les distorsions d'image. La machine comprend un étage de carbone vitreux pour la robustesse et la durabilité, une station de nettoyage à gaz inerte pour le respect de l'environnement et une plaque-guide en acier inoxydable pour une exposition précise. La série maintient une résistance stable à l'épaisseur et au CD (dimension critique) sur les photographies. L'outil photorésist est complété par un certain nombre de commandes automatiques et manuelles. Il est équipé de fonctionnalités d'automatisation telles qu'une station de chasse d'eau automatisée, un contrôle à grande vitesse qui permet un traitement à grande vitesse jusqu'à 150 m/s, et l'édition hors ligne de motifs. De plus, les commandes manuelles offrent un contrôle plus précis du processus, y compris une édition globale du masque, une intensité lumineuse réglable et une taille de masque réglable. TEL ACT 8 a été conçu pour être à la fois convivial et écologique. Il nécessite peu d'entretien, et sa conception propre et ouverte assure un environnement de travail sûr et confortable. L'actif est certifié avec le modèle de management de la qualité ISO14001 pour les systèmes de management environnemental. Cet équipement de photorésistance de pointe est idéal pour la production de semi-conducteurs et les procédés de fabrication de dispositifs. Il offre des motifs de haute précision, une épaisseur de résistance stable et une imagerie de haute qualité, tout en conservant un design écologique et convivial.
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