Occasion TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9357239 à vendre en France
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ID: 9357239
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2001
Coater / Developer system, 8"
Main frame with controller
Carrier station:
Type: Normal uni-cassette
(4) Cassette stages
Pickup cassette
Coater:
(3) Dispense nozzle with temperature controller for etcher
RRC Pump
Rinse nozzle: Back / EBR / Solvent bath for etch unit
Rinse:
(2) Buffer tanks: 3 Liter
PR Suck-back valve
Direct drain
TARC Coater:
(2) Dispense nozzle with temperature controller for etcher
RRC Pump
Rinse nozzle: Back / EBR / Solvent bath
Rinse:
(2) Buffer tanks: 3 Liters
PR Suck-back valve
Direct drain
Developer:
SH Nozzle
(2) Stream nozzles for DI rinse
(2) Buffer tanks: 3 Liters
Temperature controller
Direct drain
(3) Adhesions:
100% Sealing closed chamber (Built-in hot plate)
HMDS Tank with float sensor
(15) Low Temperature Hot Plates (LHP)
(14) Chill Plates (CPL)
TCP Module
(3) TRS Modules
Wafer Edge Exposure (WEE) module:
Wafer type: Notch, DUV
Notch
DUV
Chemical cabinet 1: Solvent and developer
Chemical cabinet 2: PR and HMDS
(2) TEL OEM Temperature controllers
AC Power box
Interface
Missing parts:
2-1 COT Spin I/O Board
2-4 COT EBR Nozzle tip
2-4 COT EBR Nozzle valve
2-1 Nozzle changer motor
3-2 Shutter cylinder
(2) PRB YASUKAWA Spin motor drivers
2-0 PRA Z-Driver
3-0 PRA Z-Driver
Temperature and humidity controller (For 4 chu)
Hard Disk Drive (HDD)
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 est un équipement photorésistant de pointe. Il est conçu pour fournir la précision et la précision de pointe de l'industrie dans le processus de photolithographie. La photolithographie est une étape critique dans la fabrication de nombreux composants électroniques. TEL ACT 8 utilise un alignement de masque de haute précision pour transférer avec précision un motif à un matériau photorésistant. Le motif est transféré dans un matériau de substrat avec une vitesse et une précision élevées. TOKYO ELECTRON ACT 8 dispose d'un puissant moteur pas à pas et d'une unité de commande exclusive. Ceci permet un alignement rapide et précis du masque avec le substrat. La résolution de l'alignement du masque est de 25 nanomètres, ce qui fournit une grande précision et répétabilité. La machine est également capable de traiter l'image du masque et peut contrôler la dose lumineuse de chaque couche en fonction de la complexité du motif. ACT 8 est également équipé d'un environnement de salle blanche puissant. L'air est filtré et contrôlé à un très haut degré. Cela garantit que même les composants les plus fragiles et miniatures ne sont exposés à aucune contamination. La salle blanche aide également en contrôlant l'humidité, ce qui est important pour contrôler le taux d'exposition de la résine photosensible. TOKYO ELECTRON ACT 8 est également équipé d'un logiciel de pointe qui est utilisé pour contrôler l'ensemble de l'outil. Le logiciel est capable de contrôler l'exposition à la lumière dans un large éventail de modèles. Il est également capable de contrôler la température du substrat et du masque, ce qui est important pour contrôler le retrait de la résine photosensible. TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 est un actif photorésist très flexible et précis. Il est capable de produire des pièces de haute qualité avec une répétabilité élevée. Le moteur puissant et les logiciels avancés permettent de produire des pièces de précision à haut débit. Les contrôles environnementaux sophistiqués font en sorte que même les composants les plus délicats ne soient pas contaminés. Le modèle est conçu pour une production en grand volume de petits composants.
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