Occasion TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9401926 à vendre en France
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ID: 9401926
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2001
(3) Coater / (3) Developer system, 8"
AC Power box
Wafer flow: Left to right
Controller
THC: ESA-4-D-02
IFB
Coater unit:
2-1, 2-2: (8) Dispense nozzles
2-3: (4) Dispense nozzles
RRC Pump
Developer unit:
E3 Nozzle
TCU:
(7) CLLO Power sources
(8) Pumps
Chemical box 1:
PR Bottle
(8) RRC Pumps
Chemical box 2:
HMDS
Thinner: (2) Tanks auto supply
DEV: (2) Tanks auto supply
Missing parts:
3-1, 3-3: Spin motor driver
IRA Main Y driver, Z driver
WEE Lamp house
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 est un équipement photorésistant de pointe conçu spécifiquement pour des applications de recherche et développement. Ce système dispose d'une technologie à double capteur pour détecter la présence de photorésist dans un substrat. Il peut également être utilisé pour détecter des irrégularités dans les processus de fixation au sein d'un substrat, ce qui en fait le choix idéal pour la recherche. Les capteurs doubles de l'unité fournissent une résolution formidable, avec une ultra haute résolution de 0,1 à 7,0 microns qui est capable de modéliser des modèles pour diverses applications de recherche et de production. Avec une excellente précision, TEL ACT 8 est également équipé de régulateurs de température et de tension pour garantir des résultats précis. Les capteurs permettent également de détecter des résistances photo à différentes profondeurs dans tout le substrat. TOKYO ELECTRON ACT 8 propose également une variété d'outils logiciels, y compris des paramètres de tests électriques, mécaniques et optiques. Il peut simuler le dépôt de film, la gravure de plasma et de nombreux autres procédés. En outre, la machine dispose de la capacité de stocker différents paramètres de processus pour une référence future, de sorte que les chercheurs peuvent facilement répéter une tâche ou modifier le processus. Outre ses fonctions principales, TEL ACT 8 dispose également d'une multitude de périphériques de commande intégrés, tels qu'un moniteur de puissance, un contrôleur automatique d'épaisseur et une chambre à vide. Ces caractéristiques font de l'outil un atout très apprécié par les professionnels de la recherche et du développement. Dans l'ensemble, ACT 8 est un actif photorésist fiable et précis conçu avec des applications de recherche et développement en tête. Sa technologie de double capteur permet à l'utilisateur de détecter les irrégularités dans les processus de fixation et de stocker les paramètres de processus pour une référence future. Avec une multitude de périphériques de contrôle intégrés, TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 permet aux utilisateurs de simuler et de contrôler divers processus tout en stockant des données importantes. Cela en fait un outil inestimable pour les applications de recherche et de production.
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