Occasion TEL / TOKYO ELECTRON ACT 8 #9407748 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 est une solution de traitement photorésistante de pointe conçue pour répondre à un large éventail d'exigences pour la production de Micro Electro Mechanical Systems (MEMS). L'équipement est équipé de processus de filage et de courroie, ce qui le rend adapté à une variété d'applications de traitement de résines photosensibles. Il est conçu pour offrir des performances supérieures, un débit élevé et un haut niveau de flexibilité de processus. TEL ACT 8 est capable de traiter à la fois des motifs de résistance photosensibles et des structures de niveau submicronique. Il est spécialement conçu pour la production en grand volume de dispositifs MEMS multicouches avec des dimensions typiques dans la gamme des micro- et nanomètres. Le système est équipé d'une station de revêtement de surface haute performance offrant le traitement d'une large gamme de matériaux de substrat avec un revêtement de surface précis jusqu'à 18 μ m d'épaisseur. TOKYO ELECTRON ACT 8 est équipé d'une variété de technologies de contrôle, y compris un enrouleur de spin multi-zones, une imprimante numérique à jet d'encre, une ancienne plaquette roulante, un aligneur de masque bidimensionnel, un microscope de projection en champ proche et une boucle de rétroaction de processus intégrée. Ces technologies permettent un niveau exceptionnel de précision et de fiabilité des processus. En outre, TOKYO ELECTRON ACT 8 est également capable d'effectuer des activités de post-traitement telles que le décapage, la cuisson et la cuisson/refroidissement. Les anciennes stations polyvalentes de spin et de wafer donnent des résultats remarquables sans risque d'endommager la couche de photorésist ou le substrat du dispositif. L'unité ACT 8 est très flexible et conviviale. Il a la capacité de stocker jusqu'à 1000 recettes d'utilisateurs, permettant aux clients d'implémenter facilement une variété de changements de processus. La machine dispose également d'une interface graphique très intuitive (interface graphique) qui permet aux utilisateurs de naviguer facilement à travers diverses étapes de traitement de la photorésistance. En outre, son architecture logicielle sophistiquée réduit la complexité de l'accord des paramètres du processus et permet un haut degré de précision. Dans l'ensemble, TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 photorésistance outil de traitement fournit haute performance, haut débit et faible coût de processus. C'est une solution idéale pour ceux qui recherchent une technologie avancée de traitement de la résine photosensible pour leurs besoins de production MEMS.