Occasion TEL / TOKYO ELECTRON ACT #9290877 à vendre en France
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L'équipement de photorésistance TEL/TOKYO ELECTRON ACT (TEACT) est une technologie de pointe conçue pour la fixation de plaquettes à semi-conducteurs avec un haut degré de précision. Le système TEACT utilise une source lumineuse exclusive d'ultraviolets profonds (DUV) pour irradier les plaquettes revêtues de résines photosensibles, contrôlant précisément le processus de fixation. L'unité comprend plusieurs composants clés, dont un automate (ACU), un générateur de motifs (PG), une source d'énergie rayonnante (RES) et une source d'alimentation (PS). L'ACU est le centre de contrôle de la machine TEACT, permettant aux utilisateurs de contrôler chaque aspect du processus de fixation des plaquettes. L'ACU interface avec le PG pour générer et contrôler le motif qui est appliqué à la plaquette. Le PG utilise un format vectoriel pour le formatage, permettant l'application de motifs complexes avec précision. Le RES est la source de lumière DUV utilisée dans l'outil TEACT. Cette source lumineuse de pointe produit un rayonnement de courte longueur d'onde, allant de 193nm à 248nm, ce qui permet d'effectuer des analyses extrêmement précises. La source peut être automatisée, permettant une production à grande échelle de couches parfaitement modelées sur des plaquettes. Le PS alimente le RES en contrôlant la quantité d'énergie appliquée sur les couches de photorésist sur les plaquettes. Cela permet de s'assurer que la résine photosensible est exposée à une quantité égale et constante de lumière. L'actif TEACT fournit aux utilisateurs des capacités de modélisation de précision de pointe. Son contrôle automatisé permet la production de couches parfaitement structurées sur des plaquettes, ce qui en fait la solution idéale pour la fixation de plaquettes semi-conductrices. La nouvelle génération de DUV RES du modèle favorise une exposition uniforme des couches photorésistantes, tandis que l'interface personnalisable ACU-PG permet aux utilisateurs de contrôler tous les aspects du processus de modélisation. Avec l'équipement TEL ACT, les utilisateurs sont assurés de résultats exceptionnels quelle que soit l'application.
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