Occasion TEL / TOKYO ELECTRON CL1300 #293607974 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON CL1300
ID: 293607974
Coaters Without excimer UVI.
TEL/TOKYO ELECTRON CL1300 est un équipement de photorésistance utilisé dans diverses applications, y compris le dépôt/gravure de semi-conducteurs et de couches minces, la fabrication de LED et la technologie de montage en surface. Ce système est équipé d'un étage d'imagerie optique haut de gamme, permettant un réglage précis de la focalisation et de l'alignement. Il est couplé avec une plate-forme de 6 zones, qui fournit une uniformité de température avancée et de contrôle. TEL CL1300 offre une sensibilité et une résolution supérieures, lui permettant de détecter et de traiter les caractéristiques jusqu'à 0,1 micron. En utilisant la tête d'exposition UV avancée de l'appareil, les utilisateurs peuvent obtenir un contrôle ligne bord/largeur de 0,5 micron ou mieux. Il utilise également une variété de techniques avancées d'exposition directionnelle, telles que l'exposition hors axe directionnel et hors axe axial. La machine est conçue pour des processus de production efficaces. Il peut alimenter simultanément des rouleaux de résines photosensibles provenant de trois sources différentes, et chaque source peut avoir ses propres paramètres d'exposition. De plus, une gamme d'alarmes, telles que la rage de température, la contamination chimique et la panne de courant, permettent un dépannage rapide et facile. TOKYO ELECTRON CL1300 est également conçu pour la gestion chimique. Il comprend des fonctions de dosage précises, ainsi qu'un outil complet de gestion des recettes, permettant aux utilisateurs de gérer intuitivement la résistance à la couverture, la résistance à l'exposition et la résistance post-développement. De plus, les réservoirs chimiques peuvent faire l'objet d'un certain nombre d'options, telles que la pression, les concentrations chimiques et la température. Enfin, l'actif offre un large éventail d'options, comme des chargeurs intégrés, des trieurs et des plateaux, ainsi que des outils automatisés d'inspection de la qualité, comme un modèle d'inspection optique avancé (AOIS). En conclusion, CL1300 est un équipement de photorésistance puissant et économique, offrant une large gamme de fonctionnalités et de capacités pour une variété d'applications.
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