Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #293592464 à vendre en France

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ID: 293592464
Coater / Developer system.
TEL (TE) TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 est un équipement « photorésist », utilisé dans l'industrie de la microélectronique pour la fabrication de dispositifs. Les photorésistes sont des formulations chimiques sensibles aux énergies spécifiques de la lumière. Lorsqu'elles sont exposées à la lumière, les molécules à l'intérieur de la photorésist réagissent, entraînant un changement de leur état moléculaire. Typiquement, des photorésistes sont déposés sur des plaquettes pour créer des motifs spécifiques, et ces motifs peuvent être utilisés pour construire des circuits intégrés à grande échelle. Le système TEL Clean Track ACT 12 offre plusieurs avantages par rapport aux systèmes photorésistants traditionnels, notamment une puissance de nettoyage accrue, une productivité améliorée et des résultats plus propres. Sa capacité à nettoyer les dépôts post-exposition à la fin d'un processus est particulièrement bénéfique. Il est également rapide et rentable, capable d'obtenir d'excellents résultats en moins d'un dixième du temps requis par les systèmes conventionnels. TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 est équipé d'un Spin/Spray Unit, qui est utilisé pour appliquer la photorésist sur la plaquette semi-conductrice sous vide. La photorésist est placée dans une tasse de spin/spray, qui est une tasse en plastique creuse remplie de la photorésist. La coupelle est ensuite placée sur une broche tournante et filée à une vitesse appropriée pour répartir uniformément la résine photosensible sur la plaquette. Ce procédé assure également une répartition uniforme de la résine photosensible sur toute la surface de la plaquette pour des résultats de fixation cohérents. Une fois la résine photosensible appliquée sur la plaquette, elle est exposée à la source lumineuse dans Clean Track ACT 12 pendant la durée souhaitée. La machine dispose d'une lampe haute intensité mercure-vapeur qui collimate la lumière pour la meilleure uniformité d'exposition possible. La résine photosensible est ensuite développée dans le bain agité de solution de révélateur de l'outil. On élimine ainsi les parties non exposées de la résine photosensible en laissant un motif sur la plaquette. Enfin, l'actif est équipé d'un module de nettoyage avancé, composé d'une cascade de têtes de pulvérisation qui dispersent plusieurs solvants différents pour nettoyer avec précision le résidu de la plaquette. Cette technologie de nettoyage automatisé fournit des résultats de nettoyage supérieurs et réduit considérablement le temps et le travail nécessaires pour obtenir une brillance de bande propre sur la plaquette. En résumé, le modèle photorésist TE TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 est une solution idéale pour la fabrication d'appareils. Il fournit des performances de nettoyage supérieures, une productivité améliorée, et une plaquette propre qui est prêt pour la prochaine étape dans la fabrication de l'appareil. Son fonctionnement rapide et économique, combiné à ses fonctionnalités automatisées, en font un choix attrayant pour les fabricants de semi-conducteurs.
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