Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9106048 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 est un équipement de photorésistance qui permet de modeler avec précision et précision les substrats. Le système est compact et offre un fonctionnement facile et simplifié. Il comprend une unité de filtration améliorée, équipée d'une machine anti-particules qui peut maintenir un environnement propre à l'intérieur de la chambre. Le porte-substrat peut être réglé automatiquement, et l'outil permet également une plus grande flexibilité opérationnelle. L'actif a un modèle de mesure sans contact multi-zones qui peut mesurer avec précision les substrats pour assurer un alignement correct avec les masques. Il est également équipé d'un équipement de contrôle de dose de haute précision avec une large gamme de niveaux de dose et d'énergie pour obtenir des résultats optimaux. Le système est capable de créer des substrats de toutes tailles pour une grande variété d'applications. L'unité d'exposition comprend un illuminateur laser ArF de 870nm avec une technologie de balayage exclusive pour assurer un faisceau de lumière stable et uniforme pour le motif désiré. La machine dispose d'un outil d'imagerie haute résolution, avec une résolution maximale de 512x512 dpi. Cet atout image est Un 10 bits bien entretenu et toutes les images sont capturées avec une grande précision et clarté. TEL Clean Track ACT 12 comprend également un certain nombre de fonctions de nettoyage, telles que le nettoyage par douche Ion et le nettoyage par indexation. Le nettoyage par douche ionique bombarde le substrat avec des ions, tandis que le nettoyage par indexation est une méthode sans contact qui utilise une brosse à base magnétique pour nettoyer la zone. Le modèle dispose également d'un équipement de pompage de secours, qui est un système de pompage secondaire pour s'assurer que l'unité maintient les conditions environnementales requises. La machine est équipée d'une gamme de dispositifs de sécurité, tels qu'un outil d'interception intégré et un atout antistatique. Enfin, le modèle permet également la surveillance et le contrôle à distance via des ports Ethernet ou RS232 accessibles via une interface utilisateur. Cela permet aux utilisateurs d'ajuster rapidement et facilement les paramètres et de dépanner tout problème rapidement.