Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9190227 à vendre en France
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ID: 9190227
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2001
(2) Coaters / (4) Developers system, 8"
In-line
Right to left
Loading configuration: 3 Foup type
Main controller: 2nd Controller
Main frame with system controller
CSB
PRB1
PRB2
IFB
Power box
T&H Controller
Chemical box
Thermo controller
(2) Mass flow controllers
Carrier station: 8" Foup type
(3) Cassettes / (25) Slots
Coater unit (2-1, 2-2 Module):
(4) Dispense nozzles
With temperature controlled lines for etch unit
RRC Pump
PR Suck-back valve: (8) Air operation suck-back valves
Rinse system:
(3) Liters
(2) Tanks
Buffer tank system
Programmable side rinse
(4) PR Nozzles
(8) Bottles
Thinner supply:
CCSS Supply
Local canister tank function
Photo resist temperature control system
Drain: Direct drain
Developer unit (3-1, 3-2, 3-3, 3-4):
(2) H Nozzles for each unit
Stream nozzle for DI rinse
(2) Points for back side rinse on each unit
Developer temperature control system
I/F Wafer stage type: NIKON (S204)
Adhesion unit:
100% Sealing closed chamber (Built-in hot plate)
HMDS Tank with float sensor in system
HMDS Supply: Local bottle
(8) Low temperature hot plates (LHP)
WEE Unit (Wafer edge exposure)
Type: DUV (UV254)
(7) Chill plates (CPL)
(4) Chilling hot plates (CHP)
TCP Unit
(2) TRS Units
SHU: (2) Shuttles
Chemical cabinet 1:
Solvent
Developer
HMDS Chemical cabinet
Temperature & humidity controller: Shinwa series (ESA-8)
Temperature control unit(TCU): TEL
AC Power box:
AC200 / 220V
Full-load current: 300A
Power: AC 208V, 3 Phase, 300A (Maximum)
2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 est l'équipement photorésist le plus récent et le plus avancé disponible sur le marché. Il est conçu pour des performances de particules ultra faibles dans l'environnement de la salle blanche. Le système utilise une combinaison unique de technologies, y compris le processus propriétaire Clean Track Auto Clean (CTAC) qui garantit la propreté des particules, et des outils avancés de numérisation descendante pour un entretien facile. Le processus Clean Track Auto Clean (CTAC) utilise deux étapes séquentielles pour assurer l'environnement sans particules le plus élevé. Tout d'abord, deux modules de brosse activés distincts sont utilisés pour déloger des particules de n'importe quel contour de surface. Ces poils sont précisément adaptés à la forme et à la taille de la pièce ou de l'équipement, ce qui garantit que tous les contaminants sont éliminés efficacement. D'autre part, une unité à débit d'air élevé est utilisée pour extraire les particules délogées de la surface. Le haut débit d'air applique également une charge antistatique à la surface, améliorant encore l'environnement sans particules. La machine utilise également la technologie de numérisation propriétaire pour détecter les particules restantes. L'outil de balayage utilise un réseau de capteurs 16 canaux pour détecter des particules aussi petites que 1 micron. Les capteurs mesurent et comparent les caractéristiques des particules, y compris la taille, la forme et la densité, ce qui permet d'identifier avec précision le nombre de particules. Grâce à ce processus de balayage, l'outil est en mesure de détecter et d'éliminer les niveaux de particules inférieurs à la norme de l'industrie. L'actif TEL Clean Track ACT 12 utilise également des techniques avancées de surveillance de la température, de l'humidité et de l'ozone afin d'assurer le maintien constant de l'environnement de la salle blanche. Les capteurs de température et d'humidité surveillent l'environnement afin d'ajuster le modèle au besoin. De plus, des capteurs d'ozone sont utilisés pour détecter la présence de particules génératrices d'ozone et ajuster la production d'ozone de l'équipement en conséquence. Le système fournit un contrôle complet à l'utilisateur, permettant un suivi précis du processus de nettoyage. En outre, les systèmes antipollution et antistatique fournissent des outils d'analyse statistique avancés, permettant aux utilisateurs de surveiller les seuils de nettoyage et d'assurer une performance optimale sans particules. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 est une unité de photorésistance très avancée, permettant aux utilisateurs d'atteindre les niveaux de propreté les plus élevés dans l'environnement de la salle blanche. La machine utilise une combinaison de technologies de pointe pour permettre des performances sans particules constantes, tout en assurant un contrôle complet sur le processus de nettoyage.
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