Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9197300 à vendre en France

L'équipement TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 est un système photorésist révolutionnaire conçu pour les procédés de lithographie de pointe. Le Clean Track ACT est une unité intégrée complète qui fournit des processus de nettoyage critiques et des solutions pour les exigences lithographiques les plus extrêmes. La machine TEL Clean Track ACT 12 utilise un transport déterministe qui crée un environnement propre pour la couche active d'une résine photosensible. Ceci assure un dépôt uniforme de la résine photosensible sur la plaquette, ce qui est critique pour le processus de lithographie. Sa technologie avancée de serrure d'air fournit une couche vitale de protection contre la contamination et les effets post-traitement. La séquence intégrée de multiples processus de nettoyage et de cuisson assure des conditions optimales pour la lithographie. TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 dispose également d'un actif de transfert de plaquettes qui minimise les particules, réduit la contamination par contact et élimine le nettoyage des plaquettes. L'automatisation haut de gamme de ce modèle est conçu pour des performances efficaces et fiables, assurant le flux ininterrompu de solutions de processus pour améliorer le débit. Clean Track ACT 12 fournit une plate-forme multifonctions pour le prétraitement avancé. Il est conçu pour supporter de multiples processus de lithographie, comme la lithographie EUV et ArF. La plate-forme intégrée offre à la fois des capacités de pré-cuisson et de nettoyage pour une gamme de tailles et de configurations de plaquettes. TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 est une plate-forme polyvalente pour la lithographie. Il fournit une excellente uniformité entre les substrats pour assurer la précision