Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9227624 à vendre en France
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Vendu
ID: 9227624
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2003
(1) Coater / (2) Developer system, 12"
Left to right
(3) Main controllers
In-line
CSB
IFB
PRB 1
Power box
Chemical box 1
Fire system box 1 and 2
T&H Controller 1
Thermo controller 1
Loading configuration:
(3) FOUP Loaders
Uni-cassette
With system controller
Carrier station:
Type: FOUP
(3) Cassettes
Uni-cassette system
Coaler unit:
(6) Dispense nozzles
With temperature controlled lines for etch unit
RDS Pump (Millipore)
Rinse nozzle: Back / EBR / Solvent bath for etch unit
Rinse system:
(3) Liters
(2) Tanks
Buffer tank system
Degassing system
Programmable side rinse
PR Nozzle (1, 2, 3, 4, 5,6)
(6) Bottles (1 Bottle / 1 Nozzle)
Thinner supply: CCSS
AMC Suck-back valve
Drain: Direct drain
Developer unit:
H Nozzle
Stream nozzle for DI rinse
(2) Points for back side rinse
Developer system:
(3) Liters
(2) Tanks
Buffer tank system
Developer supply: CCSS
Degassing system
Developer temperature control system
Drain: Direct drain
I/F Wafer stage type: NIKON SF130
Adhesion unit
Chamber (Build-in hot plate)
HMDS Tank with float sensor
HMDS Supply: Local bottle
(5) Low temperature hot plates (LHP)
(4) Chill plates (CPL)
(2) Precision chilling hot plates (PHP)
TCP Unit
(2) TRS Units
Wafer edge exposure (WEE)
UV Sensor: I-Line
Chemical cabinet:
Solvent
HMDS
DEV Chemical cabinet
SHINWA Series (ESA-8) Temperature and humidity controller
Temperature control unit (TCU)
AC Power box
2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 est un équipement de photorésistance qui est utilisé pour la photolithographie en créant un motif de film mince à la surface d'une plaquette. Le système utilise une piste propre dédiée qui empêche la contamination de la surface de la plaquette pendant le processus d'exposition et offre une capacité de processus améliorée par rapport à d'autres systèmes conventionnels. L'unité est conçue pour obtenir des motifs de résolution plus élevés et une meilleure répétabilité. Il dispose d'une machine à vide ainsi que d'un processus de cuisson qui travaille activement à sécher la résine photosensible et à produire une meilleure précision de motif. L'outil est équipé d'une piste de nettoyage dédiée pour le pré-nettoyage des plaquettes et d'une piste principale pour l'exposition. La piste de pré-nettoyage intègre un processus d'oxydation qui aide à purifier la surface de la plaquette et améliore la qualité du film pour le photomachinage. Le pré-nettoyage élimine également toute contamination causée par des particules de poussière en suspension dans l'air ou d'autres contaminants de surface. La piste principale est conçue pour offrir une alimentation stable basse tension, ce qui garantit une grande stabilité de puissance pour le processus d'exposition. Un actif optique de haute précision est intégré dans la piste principale, ce qui garantit la précision et la stabilité du processus d'exposition. Le modèle comporte différents cycles de fonctionnement programmés qui peuvent être personnalisés en fonction des besoins de l'utilisateur. Il a également construit des dispositifs de sécurité qui aident à prévenir les accidents et les dommages à l'équipement. Il dispose d'un grand écran d'affichage convivial qui permet à l'utilisateur d'accéder facilement à toutes les fonctions de l'équipement. Le système dispose également d'une unité d'optimisation pilotée par algorithme qui permet à l'utilisateur d'optimiser le temps d'exposition et les conditions de traitement pour obtenir la précision de configuration souhaitée et le rendement du processus. Il assure également l'uniformité des films minces créés lors de l'exposition et offre une meilleure capacité de traitement. La machine peut également être interfacée avec d'autres systèmes tels que les équipements de couchage, de dépôt et de dénudage, pour offrir une meilleure vitesse de traitement et une meilleure qualité de motif. Dans l'ensemble, TEL Clean Track ACT 12 est un outil photorésist puissant capable d'atteindre des niveaux élevés de précision et de répétabilité. Il a une multitude de caractéristiques sur mesure pour obtenir des résultats précis et assure un rendement supérieur de la plaquette finie. L'actif est conçu pour offrir des performances fiables et efficaces, ce qui permet aux utilisateurs de produire des produits de haute qualité et de réduire les déchets.
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