Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9239542 à vendre en France
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Vendu
ID: 9239542
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2005
SOG System, 12"
Process block: Single block system
Hard Disk Drive (HDD)
CSB:
Equipment controller
Stage / Indexer: (4) Foup indexers
CRA / Cassette block robotics arm
PRB:
SOD Unit 2-1:
(2) Resist dispense nozzles
Side rinse nozzle (Programmable side rinse EBR)
Coat cup temperature synchronized control system
Photoresist temperature control
Motor flange temperature control
Photo resist drain type: Direct gravity drain type
Cup type: PP for upper cup & inner cup
SOD Unit 2-2:
(2) Resist dispense nozzles
Side rinse nozzle (Programmable side rinse EBR)
Coat cup temperature synchronized control system
Photoresist temperature control
Motor flange temperature control
Photo resist drain type: Direct gravity drain type
Cup type: PP for upper cup & inner cup
PRA / Process Block Robotics Arm
(6) LHP / Low Temperature Hot Plate Stations
(4) CPL / Chilling Plate Process Stations
TRS / TCP: Transition Stage Unit
CWH / Cup Washer Holder Unit
External chemical supply system:
Solvent supply system for (2) SOD units
Solvent chemical type
Canister tank to auto supply system with (2) PCS pump tanks
Tank type: (2) Pump tanks (3 Liters/Tank, Teflon) to cover (2) coat units
TEL OEM TCU / Temperature control unit:
SMC Circulator pumps and thermo controller
Power transformer AC cabinet: 208 VAC, 3-Phase, 50/60 Hz
2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 est un équipement de photorésistance de pointe conçu pour atteindre des normes de performance élevées pour les applications de production et d'ingénierie dans le maquillage moderne de fabrication de semi-conducteurs. Le système dispose d'une combinaison unique de composants matériels et logiciels, qui travaillent tous ensemble pour fournir une solution de traitement photorésist très efficace et précise. Au cœur se trouve une unité multi-chambres qui intègre un certain nombre de composants de pointe dont une plate-forme logicielle haute performance qui est conçue pour assurer un fonctionnement convivial. Cette plateforme garantit des résultats fiables, des contrôles intuitifs et un traitement rapide qui contribue à maximiser l'efficacité. En outre, la machine elle-même offre un certain nombre de fonctionnalités et de fonctions qui permettent une polyvalence et une personnalisation maximales pour répondre aux besoins d'une variété d'exigences de processus. Le cœur de l'outil se trouve dans sa conception multi-chambres, chaque chambre supporte un processus indépendant qui est complètement isolé des autres. Cela permet aux utilisateurs de personnaliser les paramètres du processus et de contrôler le niveau de traitement des photorésistances pour chaque opération. De plus, les chambres d'accélérateur à plusieurs milieux utilisent un contrôle ultra-précis de la pompe d'injection pour assurer une dispersion cohérente, précise et précise du matériau photorésist. L'atout est construit sur une plate-forme qui intègre intelligemment diverses fonctions de l'utilisateur, telles que des aperçus de processus au niveau du modèle, pour faciliter une précision et une vitesse accrues dans les temps de traitement des photorésistances. Cela garantit un processus très fiable pour toutes les opérations. En outre, l'équipement est conçu pour maximiser le débit et la productivité des processus, grâce à des fonctions d'acquisition de données faciles à utiliser et à un ensemble d'analyse statistique entièrement intégré. Enfin, TEL Clean Track ACT 12 est construit autour d'un système de sécurité robuste qui a été conçu pour réduire considérablement le risque d'intrants incorrects et minimiser les pertes dues à la contamination. Cela garantit l'intégrité du processus et la qualité du produit de tous les traitements photorésistants dans toute l'unité. En conclusion, TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 est une machine à outils photorésist hautement capable qui fournit aux utilisateurs du matériel et des composants logiciels avancés, tous conçus pour fournir un outil de traitement de résines photosensibles haute performance, fiable et fiable. L'actif est construit autour d'un modèle multi-chambres personnalisable avec des contrôles conviviaux, un débit de traitement rapide, des outils intuitifs d'acquisition de données et d'analyse statistique, ainsi qu'un équipement de sécurité robuste qui contribue à réduire le risque de contamination. Tous ces attributs travaillent ensemble pour assurer une précision et une efficacité maximales dans tous les processus liés aux photorésistances.
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