Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9245699 à vendre en France
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ID: 9245699
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2010
Resist coater / Developer system, 12"
Single block
Track chemicals: Resist supply
Track 1:
COAT Cup
TARC Cup
ADH
Track 2:
Resist reduction: RRC
Resist pump: RDS 10 ml
Oven:
COT: (3) PHP
TCT: (2) LHP
2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 est un équipement de photorésistance spécialement conçu pour le marché des fonderies à circuits intégrés (IC). Le système combine les technologies d'alignement de masque et de revêtement partiel dans une plate-forme unique pour fournir une solution rentable et efficace pour les processus de photolithographie dans la fabrication de IC. La technologie d'alignement du masque est utilisée pour aligner précisément le photomasque sur la plaquette, assurant une exposition très précise du photorésist sur le matériau semi-conducteur. La technologie des revêtements partiels permet un revêtement sélectif de la résine photosensible, ce qui permet de modeler efficacement les caractéristiques IC avec de très petites dimensions latérales. TEL Clean Track ACT 12 dispose d'une unité de manutention de substrat sophistiquée qui offre une performance et une fiabilité optimales. La machine supporte des plaquettes jusqu'à 300 mm de diamètre, et peut exposer des plaquettes à des vitesses allant jusqu'à 600 plaquettes par heure. L'outil dispose également d'une étape avancée d'exposition contrôlée par la température qui garantit des temps d'exposition précis et cohérents, indépendamment de l'éclairage ambiant ou des fluctuations de température. En plus de sa capacité d'exposition, TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 propose également des procédés chimiques innovants conçus pour réduire la contamination des particules et améliorer le rendement des puces. L'actif utilise une technologie brevetée de gravure sèche qui permet de graver la résine photosensible dans les modèles uniques requis pour le processus de fabrication d'IC. Cette technologie de gravure sèche a été prouvée pour réduire l'accumulation de particules, ce qui a entraîné des rendements de puce plus élevés et moins de plaquettes rejetées. Clean Track ACT 12 dispose également d'un modèle de comptage automatisé des particules (APCS). Cet équipement permet aux opérateurs de surveiller le nombre de particules à l'intérieur de la machine en cours de fonctionnement, ce qui permet d'effectuer des ajustements pour réduire la contamination des particules et améliorer les rendements des puces. Dans l'ensemble, TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 fournit une solution fiable et rentable pour la fabrication d'IC. Le système combine des technologies avancées d'alignement de masque et de revêtement partiel pour fournir une exposition très précise de la résine photosensible, tout en utilisant des procédés chimiques innovants pour réduire la contamination des particules et améliorer le rendement des puces. L'unité sophistiquée de traitement des substrats et la machine automatisée de comptage des particules contribuent à garantir la fiabilité et la qualité des résultats.
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