Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9252495 à vendre en France
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ID: 9252495
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2004
Coater / (2) Developer system, 12"
FOUP
Modules:
(4) COT
(9) LHP
(6) HHP
(4) PHP
2004 vintage.
Le « TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 » est un équipement de photorésistance utilisé pour le développement de dispositifs à base de semi-conducteurs. Le système permet de modeler avec précision les circuits, tels que les circuits intégrés, grâce à des processus avancés d'exposition et de post-exposition. TEL Clean Track ACT 12 est une unité automatisée qui fonctionne selon la méthode d'exposition à la photolithographie. Cette méthode implique l'utilisation d'une salle blanche et d'une variété d'outils et de technologies pour graver avec précision des motifs complexes sur une plaquette de silicium. Des technologies concurrentielles telles que la correction de proximité optique (CPVP) et le contrôle des processus sont utilisées pour assurer le contrôle de précision des processus. TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 permet l'utilisation de panneaux haute résolution et d'imagerie directe laser (LDI) pour réaliser de minuscules structures. Cette machine est équipée d'une plaque chaude, d'un spin-coater, d'un distributeur de liquide et d'un module d'exposition TEL Zeus. Chacun de ces composants, lorsqu'il est combiné avec la technologie de photolithographie, permet de modeler les circuits de la manière la plus précise et la plus précise. Le spin-coater est utilisé pour disperser uniformément la photorésist sur les plaquettes, tandis que la plaque chaude est utilisée pour chauffer la photorésist. Le distributeur de liquide, qui est assisté par le vide, aide à distribuer des quantités uniformes de photorésist pour assurer la cohérence. TOKYO ELECTRON Zeus module permet un processus d'imagerie directe laser qui permet l'exposition de 12 plaquettes à la fois. Le distributeur de liquide assisté sous vide est un élément clé de Clean Track ACT 12. Cette fonctionnalité permet d'atteindre des niveaux élevés d'uniformité, de précision et de contrôle de profil de la résine photosensible. Cette combinaison d'éléments assure que la résine photosensible est exempte de débris, offrant ainsi des parois plus propres et de meilleures performances et rendements dans la production de composants à base de semi-conducteurs. Enfin, TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 permet aux utilisateurs de contrôler le processus. Il dispose d'un logiciel intégré de contrôle des processus qui permet aux utilisateurs de surveiller le processus et de calibrer les paramètres pour produire des modèles précis. Cela permet de réduire les taux de défauts et d'optimiser le contrôle des processus pour un développement plus efficace de la photolithographie. En conclusion, TEL Clean Track ACT 12 est un actif photorésistant très avancé utilisé pour le développement de dispositifs à base de semi-conducteurs. Il utilise une variété d'outils combinés à des processus avancés d'exposition et de post-exposition pour soulager les circuits les plus précis et précis.
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