Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9259909 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 est un équipement de photorésistance conçu pour des applications nécessitant un revêtement de résistance précis, une exposition et un développement sur des substrats tels que les plaquettes semi-conductrices. Le système résiste efficacement aux opérations de revêtement, d'exposition et de développement avec un régulateur de temps intégré et un contrôle de température serré. L'unité dispose de deux bras robotisés qui permettent de résister avec précision au revêtement, au développement et au nettoyage dans un court laps de temps. Cette machine réduit également l'oxydation chimique des substrats conduisant à des propriétés pelliculaires améliorées. L'outil de photorésistance est constitué d'une chambre de résiste équipée d'une buse de pulvérisation pour appliquer précisément de la photorésist sur une plaquette. La buse est capable d'appliquer jusqu'à 7 gouttelettes par seconde sur des plaquettes. L'actif est également livré avec une unité de transfert de plaquettes, qui permet une manipulation sûre et précise de la plaquette. Le modèle dispose également d'une chambre d'exposition. Cette chambre utilise un AMLS (appareil laser UV modulé en amplitude) de courte longueur d'onde UV pour exposer la résine photosensible. Le faisceau laser est utilisé pour écrire directement des motifs sur la surface de la plaquette. Une fois l'exposition terminée, la résine photosensible est changée en permanence selon le motif. Le système dispose également d'une unité de traitement chimique automatisé. Cette machine comprend un outil de brosse automatisé pour effectuer le nettoyage chimique de la plaquette pendant le traitement. La chambre de procédé chimique, qui peut être utilisée pour effectuer une gravure humide par immersion, une gravure acide, une gravure photochimique, etc., est également équipée dans l'actif. Ceci permet un contrôle précis des agents chimiques utilisés pour le traitement des plaquettes. Le modèle est également équipé d'un équipement de surveillance et de contrôle qui permet aux opérateurs de surveiller la température de la chambre et les conditions de fonctionnement en temps réel tout en contrôlant les processus tels que l'exposition, le nettoyage et le traitement chimique. Le système fournit également une interface graphique conviviale pour faciliter le fonctionnement. L'unité a une excellente fiabilité et peut obtenir un revêtement précis et la fixation sur une large gamme de substrats. La machine a un large éventail d'applications dans des industries telles que l'électronique grand public, la technologie médicale et la fabrication de semi-conducteurs automobiles.