Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9266471 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 est un équipement de photorésistance conçu pour le traitement et la fabrication de dispositifs semi-conducteurs de qualité supérieure. C'est un équipement haut de gamme qui offre des technologies et des processus de haute résistance photo dans un ensemble entièrement automatisé, rentable et fiable. Le système est composé de composants principaux dont un scanner laser avec une optique laser intégrée et une table à mandrin sous vide recyclable. L'unité de balayage laser permet un alignement précis du faisceau et une répétabilité pour masquer les données dans le champ de vision, tandis que la table à mandrin sous vide permet un revêtement fiable du substrat, un contrôle de la dilatation du rayonnement et élimine les défauts potentiels tels que les dispersions de particules. TEL Clean Track ACT 12 est équipé de plusieurs fonctionnalités avancées qui améliorent les performances, réduisent les coûts et simplifient l'entretien, y compris une unité d'exposition thermique rapide et de développement thermique rapide (RTED). Cette machine permet de réduire considérablement la consommation de matière et le temps de traitement en éliminant les composants d'exposition non essentiels et en alignant l'exposition du substrat sur l'exposition du matériau. L'outil est également livré avec un laser ultra-violet de haute puissance qui permet une exposition rapide de plus grandes dimensions et des densités de motifs plus élevées. De plus, il supporte un outil d'alignement de substrat de haute précision pour un positionnement précis, un modèle d'exposition aux bords à réflexion multiple pour une meilleure uniformité des motifs, et un nettoyant à cassettes de rinçage et de pulvérisation pour la prévention de la variabilité des processus. De plus, la TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 est équipée d'un équipement d'automatisation complet, capable de manipuler plusieurs tailles de plaquettes, ainsi qu'un champ de substrat de diamètre réduit du système à effet talon. Avec ses recettes, l'unité fournit un haut niveau d'uniformité de procédé, en compensant la dispersion des particules et l'ondulation laser. Dans l'ensemble, Clean Track ACT 12 est une machine de photorésistance avancée conçue pour répondre aux besoins des applications de dispositifs semi-conducteurs les plus exigeantes. Ses caractéristiques et sa fiabilité le rendent apte à maximiser le débit de production d'une manière rentable et fiable. En outre, l'outil offre un haut niveau d'uniformité de processus et de performance, et son atout d'automatisation complète fournit un logiciel de travail simplifié et efficace.