Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9266472 à vendre en France
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ID: 9266472
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2004
(1) Coater / (2) Developer system, 12"
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 est un équipement de photorésistance de pointe. Le système est utilisé pour déposer un film photosensible sur une surface semi-conductrice. Cela permet de contrôler et de manipuler avec précision les épaisseurs et les propriétés de surface du film. TEL Clean Track ACT 12 utilise un étage linéaire de précision ainsi qu'une machine de vision/alignement entièrement intégrée. Ceci permet un déplacement précis et une localisation précise du film à déposer. L'outil de vision/alignement fournit également des informations en retour pour maintenir la précision du processus de dépôt. Le film est déposé à travers une série de têtes de spin et de spray. La tête de rotation fait tourner un substrat à grande vitesse tandis qu'une buse de pulvérisation applique le liquide photorésist sur la surface du substrat. Après application du liquide, un mandrin sous vide est utilisé pour sécuriser le substrat, permettant le début du processus d'alignement de l'image. L'étage peut précisément déplacer le substrat dans les axes X ou Y. A ce moment, le film photosensible est aligné sur le substrat et l'image peut être reproduite avec précision sur le film. L'image créée sur le substrat est ensuite séchée par une lampe flash avant d'être exposée à la lumière ultraviolette et développée. Ce procédé de photolithographie permet le transfert précis d'un motif sur le substrat. L'actif permet également des variations d'épaisseur de la couche de résine photosensible qui permettent une conception précise et précise du circuit. Une fois la résine photosensible mise au point et structurée, le substrat est ensuite placé dans le procédé gravé, qui utilise divers produits chimiques et acides pour éliminer la résine photosensible et former les circuits désirés à la surface du substrat. Le modèle TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 fournit des processus de photolithographie et de gravure fiables et précis, ce qui le rend parfait pour les processus d'application à haut volume. L'équipement est facile à utiliser et à entretenir. En outre, le système est FOUP et pod traçable, ce qui le rend parfait pour l'industrie actuelle de fabrication de plaquettes.
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