Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9272286 à vendre en France

ID: 9272286
Style Vintage: 2003
(2) Coater / (1) Developer system 2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 est un équipement de photorésistance conçu pour permettre l'impression de haute qualité de circuits sophistiqués avec une grande précision. Ce système robuste est capable d'imprimer des structures de ligne extrêmement complexes avec une distorsion minimale et une grande précision. Il a une résolution en largeur de piste de 350 nanomètres et une tolérance de répétabilité couche à couche inférieure à 3 nanomètres. L'unité de photorésist consiste en un processus en deux étapes avec la résistance au spin-on et l'imagerie lithographique. Tout d'abord, on applique de la résine spin-on sur le substrat ou la plaquette. Cette résine liquide est distribuée sur la plaquette puis elle est mise en rotation à grande vitesse pour étaler une couche uniforme sur tout le substrat. La résistance doit être appliquée avec un niveau de précision et d'uniformité extrêmement élevé afin d'obtenir des impressions de haute qualité. Une fois la résistance au spin-on appliquée, la plaquette est ensuite exposée à une source de lumière UV de forte puissance. C'est là que se déroule l'imagerie lithographique. Le dispositif est capable de contrôler précisément la quantité d'énergie lumineuse et d'exposition afin de produire une image « négative » à partir de la couche de résistance. L'image lithographique est ensuite utilisée pour imprimer la conception de circuit désirée. Après le processus d'imagerie, une cascade d'étapes de développement, de rinçage et de four sont utilisées pour « cuire » le design dans la couche de résistance. La machine peut traiter des plaquettes jusqu'à 8 pouces de diamètre et peut être configurée pour un fonctionnement manuel ou automatique. La vitesse et la précision de l'outil de piste propre le rendent parfait pour l'impression de haute précision de circuits complexes. L'actif permet également le post-traitement pour améliorer la résolution d'imagerie. Cela comprend plusieurs couches de résistance, dopage sélectif, découpe laser, et d'autres techniques de pointe. TEL Clean Track ACT 12 est un modèle photorésist simple à utiliser mais puissant capable de produire des conceptions de circuits sophistiqués avec un écart minimal.
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