Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9280162 à vendre en France
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Vendu
ID: 9280162
Coater / (2) Developer system, 12"
CSB
PRB1
IFB
Chemical box
Thermo controller
(2) Fire system boxes
Left to right
Carrier type: FOUP
Loading configuration: 3 FOUP's
(3) Main controllers
Main system:
Main frame with system controller
Carrier station:
Type: FOUP Cassette
(3) Cassettes
Unicassette system
Coater unit:
(6) Dispense nozzles with temperature controlled lines
RDS Pump
Rinse nozzle: Back / EBR / Solvent bath
Rinse system: (2) Buffer tank systems (3 Liters)
Degassing system
Programmable side rinse:
(1-6) PR Nozzles
(6) Bottles (1 Bottle / 1 Nozzle)
CCSS Thinner supply
AMC Suck-back valve
Direct drain
I/F Wafer stage type: NIKON SF130
Chemical cabinet: Solvent, HMDS, DEV
Developer unit:
H-Nozzle
Stream nozzle for DI rinse
2-Points for back side rinse
Developer system: (2) Buffer tank systems (3 Liters)
Degassing system
Developer temperature control system
Direct drain
Adhesion units (ADH):
100% Sealing closed chamber (Built-in hot plate)
HMDS Tank with float sensor
Local HMDS supply
(5) Low Temperature Hot Plates (LHP)
(4) Chill Plates (CPL)
(2) Precision Chilling Hot Plates (PHP)
(2) TRS
Transfer Chill Plate (TCP)
Wafer Edge Exposure (WEE):
UV Sensor: i-Line
SHINWA Series ESA-8 Temperature and humidity controller
Temperature Control Unit (TCU)
AC Power box
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 est un équipement photorésist de pointe conçu pour aider les utilisateurs à produire des motifs propres et à haute résolution sur divers substrats. La photorésist est un type de matériau sensible à la lumière qui est utilisé dans de nombreuses applications industrielles, telles que la fabrication de circuits intégrés, pour créer des connexions et des structures électriques sur un substrat. L'ACT 12 utilise une combinaison de systèmes de focalisation, d'éclairage et de contrôle d'étape pour produire des motifs dans une plage de résolution allant jusqu'à 12 microns. Le composant principal du système ACT 12 est le microscope optique à haute résolution. Il est capable d'imagerie plus précise que les microscopes optiques classiques, et offre également un champ de vision plus grand. Une unité d'illumination spéciale fournit alors un éclairage précis pour les processus de balisage, permettant jusqu'à 30 étapes de contrôle de processus lorsqu'il est utilisé en conjonction avec un contrôleur d'étape dédié. Cette combinaison de composants permet de modeler avec précision des éléments de circuits miniatures sur une variété de substrats, avec des résolutions allant jusqu'à 12 microns. Outre le microscope optique et la machine d'éclairage, l'ACT 12 dispose également d'un outil intégré de contrôle de la photorésistance. Cet atout permet d'ajuster avec précision les différents paramètres du modèle photorésist pour une performance optimale. Le ACT 12 comprend également un bol en acier inoxydable résistant à la corrosion, idéal pour le montage de substrats avant le processus d'application de la résine photosensible. Une autre caractéristique notable de l'équipement ACT 12 est sa capacité à fonctionner dans un large éventail de conditions environnementales. Avec sa construction résistante à la corrosion, le système est adapté à une utilisation dans des environnements humides ou corrosifs, ainsi que des températures extrêmes. Ceci est particulièrement intéressant lorsque l'on réalise des structures sur des substrats dans des endroits sensibles ou dangereux. TEL Clean Track ACT 12 est une unité de photorésistance à la fine pointe de la technologie qui offre un contrôle précis des paramètres de fixation des éléments de circuits miniatures sur une variété de substrats. Avec son microscope optique, ses étages éclairés et sa machine de contrôle photorésist intégrée, l'ACT 12 produit des motifs propres et à haute résolution dans une plage de résolution allant jusqu'à 12 microns. En outre, il est assez robuste pour fonctionner dans une variété d'environnements dangereux.
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