Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9284887 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 est un équipement de photorésistance utilisé pour les processus de gravure et de lithographie dans la production de circuits intégrés. Le système utilise un four intégré à température contrôlée et une chambre qui est constamment maintenue à basse pression. La conception dispose d'une unité de transfert automatisé des plaquettes pour le transport des plaquettes entre les processus dans un environnement industriel. La machine contient également un outil intégré d'alignement laser de haute précision pour déterminer la position exacte de la plaquette. TEL Clean Track ACT 12 dispose d'une gamme complète de capacités et de fonctionnalités pour le prétraitement avancé des plaquettes avec des photorésists. Il est équipé d'un liquide spin-douche avancé pour l'application photorésist, qui peut être réglé pour tourner à des vitesses variables. L'actif dispose également d'un modèle d'exposition intégré qui applique précisément l'énergie UV à des zones définies de la plaquette à l'aide d'un laser à excimère sans mercure. La lampe à halogénure métallique peut également être utilisée pour l'exposition de photorésistants si désiré. Les capacités de gravure sèche et humide contrôlées de précision de TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 disposent d'une station de décapage/décapage plasma combinée pour les processus de gravure sèche et humide. L'équipement à commande logicielle a la capacité d'ajuster la vitesse de gravure, permettant un meilleur contrôle des caractéristiques de gravure dans la production microélectronique. Le matériel chimique post-appliqué et les traitements post-gravure sont surveillés et gérés au moyen d'un système informatique intégré. L'unité Clean Track ACT 12 dispose de capacités complètes de traitement des particules et des déchets chimiques. La machine est conçue pour contrôler les émissions de particules à moins de 0,1 micron, et est certifiée pour une utilisation sans substances à risque. Cela signifie que l'outil est équipé de systèmes de filtrage avancés pour contrôler les émissions de particules, permettant aux utilisateurs de fonctionner dans un environnement propre. En résumé, TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 photoresist actif est un modèle de production compact et haute performance qui offre des fonctionnalités innovantes telles que des capacités de prétraitement et de gravure précises, une gestion avancée des particules et des déchets chimiques et un équipement de surveillance intégré pour un fonctionnement plus sûr.