Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9378136 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 est un équipement de traitement de photorésistance qui répond au besoin de procédés de lithographie avancés dans l'industrie des semi-conducteurs. Photoresist est le film sensible à la lumière utilisé pour créer des motifs complexes et des fonctionnalités sur les plaquettes de circuit intégré (IC). Le système comprend un étage de substrat très précis pour le positionnement précis de la plaquette et un capteur de déplacement de force très efficace pour assurer une résistance exacte à l'épaisseur lors de l'exposition. La machine est conçue pour apporter des caractéristiques profondes, de contraste élevé, de faible réflexion, de grande surface et de rapport d'aspect élevé sur la plaquette pour une variété d'applications. Pour atteindre ses hautes performances, l'outil utilise plusieurs outils et fonctionnalités avancées. Tout d'abord, il intègre un actif d'exposition optique laser à haute puissance, permettant d'obtenir une précision de sous microns. Le modèle d'exposition fournit également une technologie de masque dur à faible réflexion et un procédé de gravure à sec pour permettre une gravure à sec de haute précision de la résine photosensible. En outre, l'équipement est économe en énergie avec l'adoption d'un système d'exposition au faisceau laser direct à haut rendement qui réduit considérablement les coûts d'exposition aux photorésistances. De plus, l'unité est conçue pour permettre une variété d'opérations directement in situ pendant que la plaquette est dans la machine, garantissant une empreinte environnementale minimisée. Par exemple, les procédés avancés de balisage tels que le balisage des parois latérales, le décollage des brasures et le brasage peuvent se faire sans manipulation des plaquettes. De plus, l'outil profite d'un atout d'imagerie haute résolution pour permettre la reconnaissance optique des caractères (OCR), la cartographie des plaquettes et l'analyse des défauts. Cela permet une surveillance en ligne en temps réel des processus de dépôt et d'exposition de résistance pour améliorer les rendements. De plus, TEL Clean Track ACT 12 dispose d'une solution de manutention robotique multi-axes performante pour faciliter les opérations de manutention et de traitement des plaquettes, améliorant ainsi la production des plaquettes. TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 est un outil puissant qui permet d'améliorer les performances de lithographie dans l'industrie des semi-conducteurs avec des capacités de résolution supérieures. Il offre également des avantages économiques avec son modèle d'exposition directe au laser économe en énergie, ce qui garantit que les processus sont terminés de la manière la plus efficace et la plus précise.