Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 #9412474 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12
ID: 9412474
Taille de la plaquette: 12"
(4) Coater / (4) Developer system, 12" Dual block.
TEL (TOKYO ELECTRON) TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12 est un équipement de photorésistance de pointe conçu pour effectuer des processus étape par étape précis sur des matériaux électroniques délicats et sensibles. Il utilise la technologie de piste de précision face-bas brevetée pour traiter des plaquettes avec une grande variété de recettes précises. Le système se compose d'une piste principale pouvant accueillir jusqu'à 12 plaquettes à la fois, jusqu'à 2 soupapes de distribution de taille de plaquette, 2 barres de nettoyage, 2 soupapes de pompe de seringue, un chargeur de cassette de vision et un module de radiofréquence (RF). Le chargeur de la cassette de vision permet à l'unité d'identifier et de transférer automatiquement chaque plaquette à la position appropriée dans la voie. Il est également capable d'aligner les plaquettes en fonction de leur taille et de leur orientation. TEL Clean Track ACT 12 utilise une application photorésist spécialisée pour obtenir une finition de surface propre et cohérente sur les plaquettes finies. La résine photosensible est appliquée à l'aide de deux méthodes primaires, trempage et enrobage de spin, avec l'ajout d'une variété d'autres applications spécialisées. La piste de précision permet une application précise et répétable de la photorésist dans un environnement propre et sans débris, ce qui élimine la contamination potentielle des plaquettes finies. La machine dispose également de deux barres de nettoyage séparées, une pour le côté d'application de la résine photosensible et une pour les surfaces supérieure et inférieure des plaquettes traitées. Différents agents de nettoyage peuvent être utilisés pour assurer une élimination complète et complète des particules ou résidus indésirables. Un dernier rinçage peut également être effectué pour s'assurer que tous les photorésistants ont été complètement éliminés et que les plaquettes sont exemptes de contaminants. L'outil est également équipé d'un module RF dédié, qui permet à l'opérateur d'ajuster les réglages d'exposition de la photorésist pour assurer l'application précise de la photorésist. Cette fonctionnalité permet un réglage fin des réglages d'exposition pour répondre aux exigences exactes de chaque plaquette, garantissant une grande précision et des résultats reproductibles. L'actif est également conçu pour un entretien rapide et facile, permettant un nettoyage rapide et sans effort et le remplacement des porte-plaquettes, des vannes photorésistantes et d'autres pièces. Cela garantit une performance optimale de TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 12, réduisant les temps d'arrêt et augmentant la productivité.
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