Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 / ACT 12 #9138479 à vendre en France
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ID: 9138479
Taille de la plaquette: 4"-12"
Coater / Developer system, 4"-12"
Either silicon wafer substrate or LED sapphire substrate
Windows GUI scheduler software
Up to date Indutrial PC controller
High speed SATA SSD storage system with RAID feature
Wafer level recipe processing and command
Real time process log
Online communication (SECS/GEM)
Group monitoring
Either uni-cassette (open cassette) or SMIF (3 SUCs or 4 SUCs) Integrated CSB
Wafer flow modification (Left to right or Right to left)
Step/Scanner interface modification
Integrated photo resist dispense monitoring system
Integrated chemical dispense monitoring system.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8/ACT 12 est un équipement de photorésistance conçu par TEL (TOKYO ELECTRON) pour les procédés de lithographie de haute précision. Le système comprend deux étapes : l'étape ACT 8 et l'étape ACT 12. L'étape ACT 8 est une unité complète de traitement de résines qui applique une photorésist sur le substrat avant exposition. Il est équipé d'une unité d'épuration double pour éliminer toute saleté et contamination du substrat avant l'application de la résine. L'ACT 8 comprend également un contrôleur ASCII qui permet un contrôle programmable de la recette, ainsi qu'une injection chimique et un contrôle chimique de la température. L'étape ACT 12 est une métrologie de dimension critique et une unité de résistance cuite qui mesure la dimension critique de tout motif sur le substrat après exposition. Il comprend également une minuterie pour les étapes de chauffage et de refroidissement et un disque respirant chauffé pour la cuisson automatique. Le ACT 12 est équipé d'une variété de méthodes de détection de pointe afin d'assurer une précision et une fiabilité maximales. Les deux étapes de la machine TEL Clean Track ACT 8/ACT 12 travaillent en tandem pour obtenir une résistance supérieure au traitement. Ses technologies de pointe fournissent précision et fiabilité au niveau de l'industrie, ce qui en fait un choix idéal pour les travaux de lithographie de haute précision. L'outil est équipé de dispositifs de sécurité avancés qui offrent une protection supérieure contre diverses conditions environnementales pendant le travail. De plus, TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8/ACT 12 est conçu pour un entretien et une réparation faciles, ce qui permet un fonctionnement optimal et efficace. Dans l'ensemble, l'actif Clean Track ACT 8/ACT 12 est un modèle photorésist avancé et fiable adapté aux exigences de lithographie les plus exigeantes. Il est conçu pour fournir une précision supérieure tout en minimisant les temps d'arrêt et le risque de contamination. Avec des fonctionnalités telles que le contrôle programmable des recettes et la cuisson automatisée, TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8/ACT 12 est un excellent choix pour toute application de lithographie.
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