Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #293628555 à vendre en France

ID: 293628555
Coater / Developer systems.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 est un équipement de photorésistance pour des procédés lithographiques haut de gamme. Le système dispose d'une tête de résistance verticale qui permet des résultats de qualité très uniformes. Le dispositif de haute précision assure une exposition homogène sur toute la surface de résistance. L'unité est conçue pour avoir une répétabilité élevée lors du traitement de structures de 0,5 μ m et peut donc être utilisée dans des lignes de production exigeantes. Le dispositif dispose d'une lentille d'imagerie plan de masque qui permet 1X à 5X réduction de la résine photosensible. La lentille est capable de visualiser et d'agrandir tous les aspects de la résistance en manipulant la lentille, fournissant une capacité à atteindre les résultats souhaités. Le dispositif dispose d'une étape et d'une capacité de répétition lui permettant d'exposer plusieurs images, masques et films simultanément afin de réduire les temps de cycle. La machine peut également accueillir des substrats allant de 4 pouces à 6 pouces et est capable d'expositions de 5,6 μ m ou moins. L'outil est équipé d'un contrôle Arm qui permet aux utilisateurs de manipuler la couche de résistance et d'accéder aux différents paramètres associés à la photolithographie, tels que la dose d'exposition, la focalisation et la vitesse d'obturation. Cette caractéristique fait de l'appareil un choix idéal pour les applications et la production de plaquettes de haute précision. La conception de TEL ACT 8 est telle qu'elle permet aux utilisateurs de surveiller, automatiser et contrôler tous les aspects du processus de photolithographie, de l'exposition à la mise au point. L'appareil dispose d'un diagnostic intégré qui peut fournir des informations sur les performances et les paramètres du processus. Le dispositif dispose également de réglages de température qui permettent un contrôle amélioré et précis du processus de photolithographie. L'actif utilise des servomoteurs numériques de haute précision qui permettent des niveaux de précision beaucoup plus élevés que les servomoteurs analogiques traditionnels. L'unité comprend également des réglages d'alignement reproductibles élevés pour un positionnement et un alignement précis des masques et des films. Toutes ces caractéristiques garantissent que TOKYO ELECTRON ACT 8 est un outil idéal pour réaliser des processus lithographiques haut de gamme. Le dispositif peut faciliter des procédés tels que la lithographie de projection à résolution de sous-quart de micron, qui est l'un des procédés les plus avancés utilisés dans l'industrie des semi-conducteurs. Le dispositif est donc adapté à toute application de traitement lithographique qui nécessite des réglages précis de contrôle de processus et des résultats précis.
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