Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #293633988 à vendre en France
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Vendu
ID: 293633988
(2) Coater / (2) Developer system
SOD Track
Coater cup
Cup rinse
Dispense Detect System (DDS)
Spinfil dispense system
Spinfil drain line
HC-100 PCS Pump
LHP High exhaust
Exhaust interlock.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 est un équipement de photorésistance conçu pour produire des motifs de circuit très précis sur des plaquettes semi-conductrices. Le système utilise l'exposition à la lumière pour appliquer et retirer sélectivement une résine photosensible de la surface de la plaquette. Grâce à une exposition spécialisée et sophistiquée et à des processus de développement, l'unité est en mesure de produire des motifs précis et à haute résolution avec une longueur minimale de 8 nanomètres. La machine TEL ACT 8 se compose d'une tête d'exposition, d'un manche de plaquettes et d'un étage pas à pas. La tête d'exposition sert de source lumineuse et contient une diode laser qui émet de la lumière laser avec des longueurs d'onde allant jusqu'à 248 nm. Grâce à l'étage pas à pas, la tête d'exposition peut se déplacer horizontalement et verticalement, ce qui permet un contrôle précis de l'exposition. La tête d'exposition peut être ajustée pour supporter une variété de processus d'exposition, y compris l'exposition laser à un point ou à plusieurs points et l'exposition au scanner. Le gestionnaire de plaquettes délivre la plaquette à l'étage pas à pas et la recueille après exposition. Il permet également à l'utilisateur d'effectuer l'orientation des plaquettes, l'échange de substrat et l'alignement des plaquettes. En outre, l'outil supporte une variété de substrats, y compris le silicium et les copeaux de verre. L'actif est conçu pour fournir un niveau élevé de précision, d'uniformité et de reproductibilité, ainsi que de flexibilité dans la manipulation d'un large éventail de matériaux. À l'aide du modèle, un certain nombre de techniques d'exposition peuvent être utilisées, y compris l'optimisation dynamique de l'exposition, l'application de l'exposition à plusieurs reprises et la compensation de l'aberration sphérique. TOKYO ELECTRON ACT 8 est également livré avec une suite de logiciels de contrôle et d'outils matériels pour aider les utilisateurs à atteindre la qualité et la résolution souhaitées dans les modèles de circuit. Il comprend un logiciel d'analyse des motifs d'exposition et des fonctions d'appariement automatique des motifs qui permettent aux utilisateurs d'ajuster les exigences des photorésistances et les conditions d'exposition afin d'obtenir la précision et la précision souhaitées dans le motif. Globalement, TOKYO ELECTRON ACT 8 est un puissant équipement de photorésistance offrant un haut niveau de précision et d'uniformité dans la réalisation de motifs de circuits sur des plaquettes semi-conductrices. Son exposition spécialisée et ses processus de développement permettent des schémas de circuits très précis et reproductibles d'une longueur minimale de 8 nanomètres. En outre, sa suite de logiciels de contrôle et d'outils matériels le rendent facile à utiliser et à personnaliser pour diverses applications.
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