Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #293767233 à vendre en France

ID: 293767233
Style Vintage: 2003
Coater / Developer system 2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 est un équipement de haute performance conçu pour les procédés avancés de fabrication de semi-conducteurs. Les systèmes photorésist sont configurés pour contrôler le motif exposé d'un film photorésist sur une plaquette. Ce type de procédé est nécessaire pour obtenir les motifs extrêmement précis et les géométries spécifiques requises dans les puces modernes et sophistiquées. Le système TEL ACT 8 est composé de trois composants principaux : l'unité de distribution, la machine de mesure CD et le Laser Direct Writer. L'outil de distribution permet la livraison précise de matériaux photorésistants sur le substrat. L'actif de mesure CD est conçu pour mesurer les dimensions critiques des motifs de circuits sur le film photorésist pour la précision et la précision. Enfin, le Laser Direct Writer délivre un faisceau laser très précis sur la photorésist qui délimite fortement les motifs de circuits ciblés. Le modèle TOKYO ELECTRON ACT 8 est doté de technologies d'amélioration des performances, notamment d'un appareil d'imagerie au microscope électronique à balayage qui facilite le traitement automatisé rapide des images et d'un générateur d'impulsions d'ondes harmoniques de grande puissance pour l'écriture conforme de motifs photorésistants tridimensionnels. La machine dispose également d'un stabilisateur de profil de faisceau optimisé et d'un module de correction de l'effet de proximité de nouvelle génération. Ces caractéristiques garantissent des motifs photorésistants très précis avec une intégrité sans marge maintenue par une compensation de précision des motifs. Le système est également en mesure de mesurer la dose d'exposition de photorésistfilm pour fournir une rétroaction sur le processus d'exposition. L'unité TOKYO ELECTRON ACT 8 est programmée avec des algorithmes de contrôle et de surveillance avancés, conçus pour assurer un contrôle total du processus d'exposition. Il dispose de capacités intégrées de gestion de base de données, qui permettent à l'utilisateur d'enregistrer les paramètres et les résultats en temps réel tout au long du processus d'exposition. La machine se connecte à l'ordinateur hôte via un réseau local pour assurer la communication avec d'autres équipements et le personnel. ACT 8 fournit avec précision et précision des motifs d'exposition au film qui permettent des rendements de produit élevés dans le processus de fabrication à partir de couches de résines photosensibles appliquées sur des plaquettes. Sa combinaison d'une livraison de film très fiable, d'une reconnaissance et d'un contrôle précis des motifs, et d'une analyse d'image efficace combinée à des capacités de contrôle et de base de données avancées en font un outil essentiel pour la fabrication moderne de produits semi-conducteurs.
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