Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #293821422 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 est un équipement de traitement chimique spécialisé en photorésist conçu pour des applications de photolithographie. Le système offre une grande précision dans le contrôle des caractéristiques critiques et une grande sélectivité dans la conception de diverses structures lithographiques avancées. Il offre un large éventail de capacités d'inspection, de processus et d'imagerie pour assurer un traitement optimal des photorésistances et des structures de conception lithographique avancées. L'unité comprend un alignement de masque avec un mandrin à vide, un scanner multi-pistes, une unité d'exposition et un ensemble développeur. Le nano-positionneur nouvellement conçu de l'aligneur de masque assure une précision d'alignement sous-micron précise et cohérente avec une répétabilité de ± 3 nm, permettant un contact film très précis et un débit élevé. Le scanner multi-pistes fournit un balayage à haute vitesse avec des tailles de faisceau réglables et des capacités d'imagerie avancées pour l'impression de rosetta scan et des techniques de lithographie avancées. L'unité d'exposition fournit la capacité de contrôler la dose à un degré élevé de précision et un choix de sources lumineuses pour différents matériaux de substrat et exigences de processus. L'ensemble du développeur assure un contrôle automatisé des temps et températures de traitement chimique, permettant à la machine d'obtenir des performances de circuit optimales. L'outil comprend une bibliothèque numérique de recettes et d'historique de processus pour assurer l'efficacité et la répétabilité de l'opérateur tout en améliorant la traçabilité des données. La bibliothèque est compatible avec tous les systèmes supportés (systèmes d'exploitation Windows/Linux) et peut être intégrée de façon transparente aux bibliothèques logicielles et matérielles existantes. Avec une grande variété d'outils de simulation et d'analyses intégrés, TEL ACT 8 permet d'assurer la performance des circuits et des structures qui répondent aux exigences de performance exactes. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON ACT 8 fournit la plus grande précision, sélectivité et débit dans l'industrie, avec la plus large gamme de capacités d'inspection, de processus et d'imagerie pour assurer un traitement photorésist optimal et la conception de structures lithographiques avancées. La capacité de l'actif à traiter les matériaux du substrat et à traiter les exigences avec précision, précision et rapidité en fait un choix idéal pour les applications de photolithographie.