Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #293824844 à vendre en France
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ID: 293824844
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2008
Coater / Developer system, 8"
Interface block
Cassette wafers
Controller
Robot
Filter
2008 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 Photoresist Equipment (TEL ACT 8) est un système de photorésist de précision utilisé dans la production à haut volume, spécifiquement pour nettoyer et déposer des couches minces de photorésist sur des substrats. Cette résine photosensible est utilisée à la fois pour les caractéristiques de hauteur fine et de rapport d'aspect élevé dans la microélectronique, les télécommunications et l'éclairage, ainsi que pour d'autres technologies de pointe telles que les dispositifs biomédicaux et optoélectromécaniques. TOKYO ELECTRON ACT 8 offre une variété de caractéristiques, y compris deux types de nettoyage automatique et une station de revêtement photorésist pour le revêtement, le développement, la gravure et l'entretien. Le processus de nettoyage commence par un processus de dépôt chimique en phase vapeur (CVD), qui est suivi d'un processus de nettoyage humide qui nettoie davantage, élimine la matière organique et réduit la rugosité de surface. On procède ensuite à une couche de résine photosensible qui peut être modelée à des dimensions spécifiques à l'aide d'un stepper ou d'un masque. TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 comprend également un distributeur chimique qui infuse avec précision les produits chimiques nécessaires dans la résine photosensible pour fournir les caractéristiques et protections souhaitées. Ce distributeur transporte également des produits chimiques individuellement vers les systèmes de dépôt ou de gravure, le cas échéant. Cela garantit l'uniformité des résultats et contribue à protéger l'équipement de la contamination lors des processus de photorésistance. ACT 8 fournit également des procédés de chauffage de substrat et de post-revêtement. Ces procédés assurent l'uniformité des couches et favorisent des résultats précis. Le procédé de post-enduction comprend un four à vide qui élimine les composés volatils, favorisant encore une adhésion soutenue des couches. ACT 8 est équipé d'une unité de contrôle de processus avancée pour fournir un procédé de photorésistance hautement reproductible et fiable pour une production à haut volume. Le logiciel permet une configuration, un contrôle et une surveillance simples de la machine. Il dispose également d'un outil d'enregistrement de données qui stocke des données précieuses pour un rappel facile lors de configurations futures ou d'optimisations de processus. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON ACT 8 Photoresist Asset est un modèle de photorésist de pointe qui fournit des résultats précis et des performances fiables dans une production à haut volume. Ses procédés de nettoyage CVD et de nettoyage humide fournissent des couches minces cohérentes de résine photosensible, tandis que son distributeur chimique assure l'uniformité. En outre, les procédés de post-revêtement de l'équipement favorisent l'adhérence des couches et le système avancé de contrôle des processus fournit aux opérateurs des capacités de configuration, de contrôle et de surveillance faciles. Ces caractéristiques font de TEL ACT 8 un choix idéal pour la production de microélectroniques, de dispositifs optoélectromécaniques et biomédicaux à haut volume.
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