Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9057502 à vendre en France
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Vendu
ID: 9057502
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2000
Single block system, 8"
(3) Blocks interface: Cassette-process-side cabinet interface
(2) Transfer robot arms: Cassette and process
(2) SOG Coaters
(2) SOG nozzles with temperature control
TARC compatible: Teflon coated chamber
(4) Chill plate process stations with temperature control
Transfer chill plate
(4) Low temperature hot plate process stations with temperature control
(4) High temperature hot plate process stations with temperature control
Sub-components:
Fluid temperature controller
Temperature and humidity controller
Side chemical cabinet
AC Power box
SECS/GEM compatible
2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 est un équipement de photorésistance conçu pour la gravure précise, le revêtement et l'adhérence dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il est principalement utilisé dans les domaines de l'assemblage de circuits et du traitement des plaquettes. Le système utilise une forme spécialisée d'un matériau photorésist (PR), qui est appliqué sur la surface de la plaquette et permet à la source lumineuse de graver des portions spécifiques du matériau. Le matériau PR est appliqué sur la surface à l'aide d'un dispositif de revêtement sous vide qui répartit uniformément le matériau PR sur la surface. Une fois que le composant a été entouré de matériau PR, la source lumineuse est activée, et il gravera sélectivement le matériau selon les données de conception spécifiées. En ajustant l'intensité lumineuse, le temps d'exposition et l'angle de la source lumineuse, le modèle requis pour le composant peut être atteint. L'unité est conçue pour le positionnement précis et précis du matériau PR, qui est essentiel pour créer des composants précis et exacts. Pour réaliser cette machine dispose d'un outil d'étage haute résolution et d'un actif d'étage porte-air avec une précision de 3 microns. Le modèle d'étage porte-air peut être utilisé pour positionner avec précision les composants avant la gravure. En plus de la gravure, l'équipement est également capable de revêtir les coins intérieurs et extérieurs d'un produit avec une seule application. Cela facilite en outre la production de dessins précis et élaborés. Pour assurer l'uniformité, le système est équipé de dispositifs d'alignement et de contrôle de l'uniformité qui détectent les écarts par rapport à l'uniformité afin de permettre des ajustements en temps opportun. Par ailleurs, l'unité est également capable de réaliser des procédés d'adhésion tels que dépôt métallique, activation, durcissement adhésif. La machine applique un vide très fort pour assurer la cohérence de l'application de l'adhésif, et le processus de durcissement est précis. Globalement, TEL Clean Track ACT 8 est un outil photorésist précis et polyvalent bien adapté à la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. L'atout les caractéristiques nécessaires pour assurer un produit de haute qualité avec peu ou pas d'écart par rapport à la conception cible.
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