Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9235479 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 est un équipement de photorésistance conçu pour les applications de photomasque à semi-conducteur. Ce système est une unité de dépôt de photorésist à film sec qui utilise un bras robotique pour le dépôt précis de la couche de photorésist sur la surface du substrat. Cette machine est disponible en deux configurations, la norme ACT 8 et l'ACT 8-XHD. L'ACT 8 est intégré à un générateur de gouttelettes à plus haute résolution qui permet une résolution plus élevée de 0,4 microns. En outre, l'outil est équipé de quatre têtes de distribution pour le dépôt simultané et est capable de déposer au moins 200 plaquettes par heure. Cet actif est conçu avec un modèle lightpipe qui est utilisé pour assurer une exposition uniforme à chaque substrat. La prise de lumière expose la photorésist à un ultraviolet intense et à la lumière d'imagerie pour créer des motifs ultra haute résolution. Cet équipement utilise également un système de recirculation et de filtrage pour distribuer efficacement une solution de résine photosensible avec moins de production de déchets. L'ACT 8 est capable de traiter divers substrats dont des matériaux sensibles au gamma et peut être utilisé pour un large éventail d'applications. Il peut être utilisé pour modeler des structures de couches minces, des contacts et la densification de lignes. De plus, l'unité est capable de taper sur des coussinets, de faire des processus de superposition et de caler le dos des substrats. De plus, cette machine utilise le logiciel de gestion de la photorésistance INFINITY. Ce logiciel est utilisé pour surveiller les paramètres pertinents tels que l'alimentation de la solution, l'alignement et la résolution de l'image, et distribuer l'état de la tête. Il est également utilisé pour assurer une exposition adéquate pour chaque substrat et fournir des messages d'alerte en cas de divergences dans l'outil. Dans l'ensemble, TEL Clean Track ACT 8 est un actif photorésistant de haute performance conçu pour répondre aux exigences des applications de photomasque à semi-conducteur. Ce modèle est capable de traiter une variété de substrats et peut être utilisé pour de nombreuses applications. En outre, l'équipement est équipé du logiciel de gestion de la photorésistance INFINITY, qui permet un fonctionnement précis et efficace de ce système.