Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9235802 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 est un équipement de photorésistance qui fournit une plate-forme de photorésistance rentable et améliorée pour l'industrie des semi-conducteurs. Il utilise un scanner combiné et une plate-forme Auto Mask Chuck (AMC) pour effectuer des tâches d'enregistrement et d'exposition de scanner à masque dans une plate-forme. Cette plate-forme est conçue pour réduire le coût de fonctionnement, améliorer les performances du système photorésist et améliorer le débit en réduisant le temps de traitement d'une plaquette. TEL Clean Track ACT 8 utilise une technologie innovante pour améliorer la précision et le débit des processus d'exposition. Les chucks Auto Mask (AMC), qui sont utilisés pour sécuriser les masques, disposent de micro-protubérances de haute stabilité pour s'assurer que les masques sont alignés correctement et avec précision. Le scanner embarqué intègre également l'autofocus et la vitesse de balayage pour améliorer le débit en accélérant les opérations de balayage. TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 dispose d'un ensemble de pot de grande capacité. Il peut contenir jusqu'à 12 masques ou 3 feuilles de plaquettes et est séparé en deux chambres. La première chambre introduit des masques d'exposition et la seconde réduit le biais de distribution non récurrent. Il offre également des performances supérieures en échangeant rapidement les chambres entre l'opération d'exposition et la dilution de distribution, ce qui élimine la nécessité d'un réétalonnage à débit réduit. Clean Track ACT 8 dispose d'une source lumineuse pulsée (PLS) de 5 mégawatts pour l'exposition au masque. Il offre plusieurs avantages tels qu'une source de fond faible pour une absorption réduite du film et une conception intégrée pour une grande stabilité. De plus, il intègre une surveillance active des processus afin de maintenir une puissance lumineuse constante dans le temps et d'assurer une exposition précise. En conclusion, l'unité TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 a été développée à l'aide de technologies innovantes pour accroître le débit et la rentabilité des systèmes de résines photosensibles. Il intègre un mandrin combiné scanner et masque automatique, ainsi qu'un ensemble de pot de grande capacité et un PLS de 5 mégawatts pour l'exposition au masque. Ces caractéristiques permettent à la machine de traiter avec précision et rapidité les plaquettes et d'améliorer le coût et les performances des procédés de photorésistance dans l'industrie des semi-conducteurs.