Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9241869 à vendre en France
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Vendu
ID: 9241869
Taille de la plaquette: 8"
(2) Coater / (2) Developer system, 8"
I-Line
Single block system
Wafer flow: Left to right
Process block: Single block system
Block 1(C/S Blk):
CS Add on board missing
Main controller: ACT #2
Y,Z,Th Motor, X,Y,Z,Th Drive
Touch screen
Pincette
Block 2(P/S Blk)
(2) Spinner I/O boards missing
(2) Coater units (2-1, 2-2)
Direct drain type
(2) PR Nozzle assemblies
(4) Back rinses
(2) EBR Nozzles
(2) Out cup assemblies
(2) Nozzle changer motors
(2) Spin motors & drivers
(2) Developer units: (2-3, 2-4)
(2) Spinner I/O boards missing
(4) Back rinses
(2) H Nozzle assemblies
(2) Out cup assemblies
(2) Spin motors & drivers
Oven unit:
(7) LHP/ Low temperature hot plates
(4) CPL/ Chill plates
TCP
(2) TRS / Transfer stations
(2) ADH/ Adhesion process stations
PRA / Process block robotics arm:
Missing part: Pincette
TH Drive
PRA Motor
Missing parts:
(4) ADH Inject valves
(10) Air valve (AMDZ1-X61)
(2) DEV Drine bottles
Power cable
THC: T&H-NRE-2-A-00
Power box: PB2-U200-03-DV2
TCU.
TEL/TOKYO ELECTRON ACT 8 est un équipement photorésist fabriqué par TEL Ltd. (TOKYO ELECTRON). Il est conçu pour être utilisé dans les semi-conducteurs et autres industries connexes pour la gravure ou le revêtement de plaquettes d'un diamètre pouvant atteindre huit pouces. Il utilise un système d'imagerie directe laser pour fournir des images précises et précises aux plaquettes revêtues de résines photosensibles. L'unité est composée de trois composants essentiels : la tête de balayage, la carte de contrôle et la chambre active. La tête de balayage utilise la lumière laser de deux jeux de lasers pour effectuer l'imagerie des plaquettes enduites de photorésist. La carte de contrôle permet à la tête de balayage de produire un faisceau avec un bon pas d'espacement et de résolution. Il contient également des cartes de circuits numériques et des récepteurs qui détectent, en temps réel, la position du faisceau, ajustant ainsi la résolution si nécessaire. La chambre active facilite le chargement et le déchargement des plaquettes de la machine ainsi que l'activation de la résine photosensible. L'outil utilise un nouvel actif photorésist connu sous le nom de résistance à double état (DSR). Cette caractéristique permet à l'utilisateur d'appliquer deux types différents de photorésist sur une même plaquette tout en ajustant la largeur de caractéristique entre les deux applications. Pour fournir une imagerie précise et fiable des plaquettes revêtues de photorésist, TEL ACT 8 utilise plusieurs fonctionnalités technologiques avancées, telles que l'accord haute puissance optique avancée, la flexibilité de la longueur d'onde laser, la chiralité centrale à plusieurs niveaux et l'accord de champ. De plus, la photorésist possède une grande sensibilité et un excellent contrôle d'impédance pour fournir un résultat précis même lorsque l'intensité du faisceau laser change. Le modèle dispose également d'un équipement de contrôle automatique étendu qui permet à l'utilisateur de soumettre les ensembles de paramètres inspectés via l'interface utilisateur graphique avec le clic d'un bouton. Ce système connecte ensuite tous les dispositifs pertinents et dicte les paramètres du processus avec une précision totale. Un autre aspect important de l'unité est son logiciel d'exploitation SEH sûr et efficace. Ce logiciel peut être consulté via un PC, de sorte que l'utilisateur peut communiquer avec la machine ou d'autres appareils connectés, économise des données pour le rappel d'outil et actionne l'actif à distance. Le logiciel d'exploitation SEH permet également à l'utilisateur de surveiller en temps réel toutes les activités se déroulant dans le modèle. Enfin, TOKYO ELECTRON ACT 8 offre un environnement convivial et une fonction d'auto-entretien, permettant à ses utilisateurs d'augmenter la productivité et de réduire les coûts en termes de travail et d'énergie.
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