Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9300430 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 est un équipement de photorésistance de pointe conçu pour le processus de photolithographie de haute qualité. Ce système facilite diverses étapes de traitement, y compris la filature, la cuisson et le développement, le tout au sein d'un seul module automatisé. Il est spécifiquement conçu pour fournir un contrôle optimal et des rendements élevés lors de procédés lithographiques de haute précision. TEL Clean Track ACT 8 est équipé d'un contrôleur de mouvement de haute précision et d'une unité de vision de mouvement (MViS). Ceci assure le positionnement précis et hautement reproductible de l'étage de plaquette même lors de longues courses. En outre, la machine utilise diverses technologies de pointe, dont un contrôleur de mouvement grossier à grande vitesse, un codeur linéaire rapide, et un CLAD (Closed-Loop Axis Drive). Cette combinaison de caractéristiques assure un contrôle de mouvement lisse, fiable et précis, ainsi qu'un positionnement précis de l'étage de plaquette. TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 offre des capacités de nettoyage de substrat supérieures ; il est équipé d'un poste de nettoyage des lames trapézoïdales à coulisseau. Cette station utilise des lames abrasives pour éliminer doucement les particules de la surface du substrat et réduire les effets de bord. Il est en outre équipé d'un outil de surveillance des particules et de la contamination pour un contrôle continu et efficace des processus. Cet outil de surveillance utilise des systèmes d'ionisation et d'échappement d'air sur place pour assurer une propreté supérieure des substrats. En plus des fonctions de contrôle de mouvement et de nettoyage, Clean Track ACT 8 offre une grande variété d'options d'imagerie et de modélisation. Il est équipé de scanners à tête simple et double alimentés pour l'imagerie rapide de grands substrats, et comprend également une grande variété de méthodes de mesure telles que l'exposition au balayage laser (ELS), les copies PR de contact (PRC), et l'auto-alignement intégré hors axe pour définir des modèles d'image précis. TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 est un modèle photorésist complet conçu pour fournir des résultats lithographiques reproductibles de haute qualité. Il offre d'excellentes capacités de contrôle de mouvement, de nettoyage de substrat et d'imagerie, permettant aux utilisateurs de réaliser des processus de photolithographie précis et précis. Ses caractéristiques technologiques avancées et sa grande variété d'options de fabrication en font un excellent choix pour les processus de haute précision, assurant des rendements supérieurs et un contrôle des processus.