Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9383672 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 est un équipement de photorésistance automatisé conçu pour l'industrie des semi-conducteurs. Le système est utilisé pour graver avec précision des motifs dans des matériaux semi-conducteurs. L'unité est composée de plusieurs composants qui travaillent ensemble pour manipuler le matériau de la résine photosensible. Le premier composant est un masque Photoelectron Aligner (PMA), qui est chargé de placer avec précision le motif désiré sur le matériau de la plaquette. Le PMA utilise alors la lumière ultraviolette (UV) pour transférer le motif sur la résine photosensible. Cette étape est appelée « exposition ». Le deuxième composant est une station de traitement chimique, chargée d'éliminer les parties exposées de la résine photosensible. Cette étape est habituellement réalisée en appliquant une solution alcaline à base d'eau sur la résine photosensible. Ce processus est connu sous le nom de « développement ». Le troisième composant est un sèche-linge, qui sert à sécher le matériau après l'étape de développement. Cette étape permet de réaliser correctement l'étape suivante, la gravure. Le quatrième composant est un graveur, qui sert à graver le motif désiré dans le matériau. Selon le matériau à graver, cela peut se faire par gravure sèche, gravure humide ou gravure plasma. Le cinquième composant est une station de soulèvement, qui est chargée de retirer la résine photosensible restante du motif gravé. Ceci se fait habituellement avec un agent de soulèvement chimique qui rompt les liaisons chimiques entre la résine photosensible et le matériau. Le sixième composant est une station d'inspection des marques d'alignement (AMI), qui sert à vérifier la précision de l'alignement du motif gravé. Cela garantit que le motif gravé répond aux spécifications de conception. Le septième composant est un poste de nettoyage, qui est utilisé pour éliminer tout photorésist, agent chimique ou particules restant du matériau de la plaquette. Cela permet de s'assurer que le semi-conducteur est exempt de contamination. Enfin, le huitième composant est une station de transport, chargée de déplacer le matériau de la plaquette à l'étape suivante du processus. TEL Clean Track ACT 8 est un composant essentiel du processus de fabrication des semi-conducteurs, car il permet la fabrication précise et précise des matériaux semi-conducteurs. En combinant PMA, station de traitement chimique, sèche-linge, graveur, station de décollage, AMI, station de nettoyage et station de transport en une seule machine, TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 simplifie le processus de fabrication des matériaux semi-conducteurs.