Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9402762 à vendre en France

ID: 9402762
Style Vintage: 2013
(4) Coater / (4) Developer system Type: Dual Inline type Right to left RDS Pump SH Nozzle Open cassette (3) Main controllers (2) PHP Does not include : T and H HDD Missing parts: COT: Spin motor driver Arm1 driver Spin motor driver Arm1 Up / Down sol valve Spin motor driver (2) TCT Coater cups (2) PHP TC Control boards (4) COT EBR Flow meters 30ml/min (4) COT EBR Flow meters CCD Sensor PCS-1 IRA Z Unit kit XY-HRS 055ZM109 IRA Pincette, 8" IRA Z IRA Z MU-D015 Axis motor driver IRA X MU-M008 Axis motor assembly IRA Y IRA Y M-ESA-LYA2AF8 Axis motor driver IRA M-ESA-J1003AF9-20 Theta axis motor driver WEE TKB2251 CCD Board WEE SMC Vacuum solenoid Chemical cabinet HTK270-M Sub operation panel 2013 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 est un équipement de photorésistance conçu pour le nettoyage et la préparation de surface de matériaux semi-conducteurs. Il utilise un bras robotisé breveté pour distribuer automatiquement du liquide de nettoyage directement sur la surface du matériau. On vide ensuite le liquide en laissant en surface un revêtement uniforme et propre. TEL Clean Track ACT 8 se compose d'un contrôleur, d'un appareil photo numérique, d'un bras manipulateur et d'un système de barrière aux vapeurs. Le contrôleur fournit l'interface avec la recette de processus, la sécurité de l'appareil et le fonctionnement programmable. La caméra numérique est utilisée pour détecter le mouvement de l'ensemble du bras robotique, fournissant la rétroaction nécessaire pour un nettoyage et un revêtement précis. Le bras manipulateur est conçu pour assurer un mouvement lisse et précis du liquide de nettoyage. L'unité de protection contre les vapeurs est conçue pour minimiser l'échappement des fumées volatiles générées pendant le processus de nettoyage. Tous ces composants se réunissent pour créer une machine photorésist complète et fiable. TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 est équipé d'un sous-système de vision qui lui permet de détecter avec précision les défauts matériels qui pourraient être manqués par un processus d'inspection manuel. Cet outil comprend également un module de manutention intelligent qui peut facilement reconnaître différents matériaux et ajuster ses paramètres de manière appropriée. Le processus de nettoyage est initié par l'introduction d'un liquide de nettoyage, suivi du dépôt d'un matériau photorésistant. Le processus de dépôt est effectué à l'aide d'une source de lumière UV à ondes courtes et est suivi d'une exposition et d'un développement photo. Après les procédés de nettoyage et de revêtement, le dispositif est ensuite rincé à l'eau ou à un solvant approprié pour éliminer l'excès de matière photorésistante. Clean Track ACT 8 est un actif photorésistant facile à utiliser, fiable et économique, capable de fournir des résultats de nettoyage et de revêtement cohérents. Il est conçu pour rationaliser l'ensemble du processus de nettoyage et de revêtement des matériaux semi-conducteurs, ce qui en fait le choix idéal pour les entreprises à la recherche d'une solution efficace.
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