Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT Lithius #293649381 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT Lithius
ID: 293649381
Coater / Developer system.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT (Loi sur la piste propre de TEL/Tokyo) est un équipement photorésistant conçu pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. C'est un outil avancé et performant pour l'élimination uniforme et précise des résidus de résines photosensibles. Il utilise un système de suivi automatisé pour assurer un rendement uniforme et minimiser la contamination des particules dans la production. TEL Clean Track ACT (TEL Clean Track ACT) utilise diverses technologies pour éliminer la résine photonique du dispositif semi-conducteur. Tout d'abord, une série de solutions chimiques sont utilisées pour dissoudre le matériau. Après quoi un rinçage à l'alcool isopropylique permet de s'assurer que le matériau est complètement disparu. Ensuite, un plasma à haute énergie est utilisé pour graver complètement la surface du dispositif. Enfin, un gaz à haute température et à basse pression est utilisé pour nettoyer la surface et éliminer complètement les traces photorésistantes restantes. L'unité comprend un contrôleur, un gestionnaire de plaquettes, une livraison de produits chimiques, une station d'épuration et une station de gravure laser. L'objectif principal de la machine est de minimiser la contamination des particules en assurant une manipulation plus précise des plaquettes. Le gestionnaire de plaquettes permet à l'outil d'offrir des performances de nettoyage photorésistantes précises et uniformes sur toute la surface de la plaquette. Il comprend également un atout de vision intégrée pour identifier les particules susceptibles de contaminer la plaquette pendant le traitement. La livraison chimique offre un contrôle précis et précis des réactifs chimiques, ainsi qu'un modèle de gestion des réactifs pour gagner du temps et des coûts, ainsi qu'un équipement d'automatisation chimique pour garantir un minimum de déchets. La station de gravure de plasma utilise une technique plasma haute fréquence qui est conçue pour éliminer rapidement et efficacement les résidus de photorésist de la surface. Enfin, le poste d'épuration utilise un flux de gaz à basse pression pour évacuer les résidus restants pour une plaquette parfaitement propre. TOKYO ELECTRON Clean Track ACT Extrêmement avancé, efficace et fiable pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il est conçu pour réduire la contamination des particules et fournir des performances supérieures. Il permet d'effectuer un nettoyage précis rapidement et efficacement, assurant une fabrication constante des dispositifs de haute qualité.
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