Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius Pro V-i #9397199 à vendre en France
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Vendu
ID: 9397199
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2011
Coater / Developer system, 12"
Lithius Pro-V Immersion
(4) Loadports
(2) Grippers
RRC2 (Cyclohex addition)
O-ring fork on IRAH
ISHU bracket removal
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
BST2
Chamber position / Description
Unit position-1 / Rinse
Unit position-2 / Developer
Unit position-3 / Rinse
Unit position-4 / Solvent
Unit position-5 / Solvent
Unit position-6 / Vapor prime
Unit position-7 / -
Unit position-8 / -
Unit position-9 / -
Unit position-10 / -
2011 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Isemblus Pro V-i est un équipement de photorésistance commercialisé conçu pour fournir une qualité de traitement élevée des photorésistances dans la production de dispositifs semi-conducteurs. Le système est conçu pour produire des photorésists de haut volume et de haute qualité, même dans des applications difficiles. L'unité intègre les dernières technologies de pointe pour le traitement des résines photosensibles, et dispose d'une machine optique de haute précision qui est capable de résoudre des caractéristiques jusqu'à 30 nm. Cet outil est conçu pour assurer la qualité et l'uniformité pendant le processus de levage de la résine photosensible. L'actif photorésist utilise un substrat résistif avec une température élevée, une grande fiabilité et des capacités d'adhésion élevées pour garantir des résultats cohérents, même lorsqu'il est exposé à des températures élevées. Le modèle comprend également un équipement de sécurité sophistiqué pour surveiller la propreté de la chambre et les paramètres de processus. Le système de sécurité Pro V-i intégré utilise un ensemble complet de capteurs pour surveiller la température, la pression et d'autres paramètres de fonctionnement, et peut protéger l'unité de photorésistance contre tout dommage. La machine Pro V-i de TEL Clean Track peut être utilisée dans divers procédés de production, y compris la photolithographie, l'époxydation et le spin-on-deposition. Il est compatible avec une gamme de matériaux photorésistants classiques, et peut être utilisé pour obtenir une variété de résultats différents selon l'application souhaitée. L'outil est également capable de gérer plus facilement les processus de production difficiles en utilisant les dernières avancées en matière de contrôle et de précision, comme permettre le transfert direct des données produites lors des processus résistifs. Cela permet aux utilisateurs d'optimiser leur processus et permet des temps de production et de réponse plus rapides. TOKYO ELECTRON Clean Track, le Pro V-i est un actif photorésistant extrêmement fiable et efficace, capable de produire des volumes élevés et des résultats de haute qualité. Ce modèle est une solution fiable et rentable pour de nombreux processus de production, et peut être appliqué à de nombreux domaines différents pour assurer une production cohérente de photorésists de qualité.
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