Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Lithius #9203697 à vendre en France
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ID: 9203697
Taille de la plaquette: 12"
Coater / Developer system, 12"
Multi block.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Isemblus est un équipement de procédé de photorésistance avancé conçu pour atteindre les niveaux les plus élevés de fabrication de micro/nano dispositifs. Avec son haut niveau de débit et ses faibles taux de défauts, c'est une solution rentable pour des applications allant du basique aux performances avancées. Le système utilise la lumière laser pour créer des motifs haute résolution sur les plaquettes. Sa méthode d'imagerie directe impulsionnelle supporte de multiples options de lithographie, y compris l'immersion dans l'ARN (fluorure d'argon), le KrF (fluorure de krypton) et les modes hybrides. L'énergie du faisceau peut être ajustée à des exigences d'application variées, avec un taux de répétition d'impulsions élevé pour la production et une pulsation ultra-haute précision pour un recouvrement précis et une exposition fine des caractéristiques. Un large éventail de procédés utiles de post-exposition tels que la cuisson, le développement, le dénudage, le durcissement et le fraisage par faisceau ionique sont également pris en charge. TEL Clean Track Isemblus est conçu pour minimiser la contamination et optimiser l'efficacité des processus. La machine de nettoyage de l'air aide à éliminer la pollution et les autres particules flottantes des expositions. Un module d'annulation du bruit breveté-actif abaisse le bruit de pression de fond, et l'outil est équipé d'un filtre micro-maillage détaillé, d'une triple filtration et d'une fonction de stérilisation de la lumière UV. Le dispositif utilise un dispositif de verrouillage de l'alimentation chimique partiellement supervisé pour limiter le risque de taches chimiques ou de contamination par des particules. Le modèle dispose également d'une soufflante intelligente intégrée et est capable de moduler la pression à l'intérieur de la chambre. L'interface utilisateur de TOKYO ELECTRON Clean Track Isemblus est simple et intuitive. L'environnement logiciel commun peut être utilisé pour plusieurs modèles de plates-formes et des services de soutien technologique de pointe sont disponibles 24 heures par jour. Clean Track (en anglais seulement) est rapide, précis et fiable. Avec sa conception compacte, son peu de pièces et ses faibles coûts de maintenance, il est adapté aux environnements de production à petite et grande échelle. L'appareil a fait l'objet d'essais rigoureux et a obtenu diverses certifications, dont ISO 9001:2015, ISO 14001:2015 et conformité à l'EPA. TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Isemblus est un équipement de photorésistance puissant et économique qui peut vous aider à répondre aux exigences complexes de la fabrication actuelle de micro/nano appareils.
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